电容式压力变送器原理..pdfVIP

电容式压力变送器原理 电容式压力变送器简介 科学技术的不断发展极大地丰富了压力测量产品的种类， 现在， 压力传感器的敏感原理不仅有电 容式、压阻式、金属应变式、霍尔式、振筒式等等但仍以电容式、压阻式和金属应变式传感器最 为多见。 金属应变式压力变送器是一种历史较长的压力传感器， 但由于它存在迟滞、 蠕变及温度性能差等 缺点，其应用场合受到了很大的限制。 压阻式传感器是利用半导体压阻效应制造的一种新型的传感器， 它具有制造方便， 成本低廉等特 点，但由于半导体材料对温度极为敏感，所以其性能受温度影响较大，产品的一致性较差。 电容式压力变送器是应用最广泛的一种压力变送器， 其原理十分简单。 一个无限大平行平板电容 器的电容值可表示为： C= ε s/d （ε 为平行平板间介质的介电常数， d 为极板的间距， s 为极板的覆盖面积） 改变其中某个参数， 即可改变电容量。 由于结构简单， 几乎所有电容式压力变送器均采用改变间 隙的方法来获得可变电容。 电容式压力变送器的初始电容值较小， 一般为几十皮法， 它极易受到 导线电容和电路的分布电容的影响，因而必须采用先进的电子线路才能检测出电容的微小变化。 可以说，一个好的电容式传感器应该是可变电容设计和信号处理电路的完美结合。 Setra 压力变送器的工作原理 Setra 的压力变送器采用了结构简单、坚固耐用且极稳定的可变电容形式，下图为 Setra 压力 变送器的结构示意图， 可变电容由压力腔上的膜片和固定在其上的绝缘电极所组成， 当感受到压 力变化时，膜片要产生微微的翘曲变形，从而改变了两极的间距，采用 Setra 独特的检测电路 测电容的微小变化， 并进行线性处理和温度补偿。 传感器输出与被测压力成正比的直流电压或电 流信号。 精巧的结构、高性能的材料及先进的检测电路的完美结合，赋予了 Setra 压力变送器以很高的 性能。 Setra 压力变送器的特点 高性能 为了保证产品的高性能， Setra 压力变送器采用材料构成可变电容， 由于这些材料具有极稳定的 物理化学性能， 使产品具有极高的性能。 根据用户需要 Setra 可提供高达± 0.02%FS 的传感器， 稳定性优于± 0.05%FS ，如此高的性能是采用其它敏感原理的产品难以达到的。 此外，采用 Setra 先进的检验电路可检测出敏感电容极微小的变化，从而使传感器具有很高的 分辨率，如 Setra 的 Model270 大气压力变送器的分辨率可达 0.005%FS 。 机械变形 敏感电容模极板间距的微小的变化， 即可产生可测量的电压信号变化， 小的机械变形使传感器的 迟滞和非重复性误差大大降低，同时传感器的速度也得到很大提高。 测量范围宽 Setra 的压力变送器具有很宽的测量范围， 它可对 25Pa ～ 70MPa 范围的压力进行精确的测量， 且具有极高的稳定性。 上图为 Setra Model239 高精度差压力变送器的结构示意图，此传感器最小测量范围为 0 ～ 125Pa ，测量精度可达 0.073%FS ，静压可从真空至 1.7MPa 。在 0 ～ 65 ℃范围内，温度影响