电子束和离子束加工.pptx

;主要内容;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工; （1）只使材料局部加热就可进行电子束热处理； （2）使材料局部熔化就可以进行电子束焊接； （3）提高电子束能量密度，使材料熔化和汽化，就可进行打孔、切割等加工； （4）利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。; 电子束加工装置主要由以下几部分组成。 （1）电子枪。获得电子束的装置。它包括： 电子发射阴极—用钨或钽制成，在加热状态下发射电子。 控制栅极—既控制电子束的强弱，又有初步的聚焦作用。 加速阳极—通常接地，由于阴极为很高的负压，所以能驱使电子加速。 ;第九章 电子束和离子束加工;束流聚焦控制：提高电子束的能量密度，它决定加工点的孔径或缝宽。 ;电子束能够极其微细地聚焦(可达l～0.1 μm)，故可进行微细加工。 是非接触式加工，不产生应力和变形，加工材料的范围广。能加工各种力学性能的导体、半导体和非导体材料。 能量密度高，能量利用率高，加工效率很高。 加工在真空中进行，污染少，加工表面不易被氧化。 可以通过电场或磁场对电子束的强度、位置、聚焦等直接进行控制，整个加工系统易实现自动化。 电子束加工需要整套的专用设备和真空系统，价格较贵，故在生产中受到一定程度的限制。 ; 1-淬火硬化；2-熔炼； 3-焊接； 4-打孔； 5-钻、切削；6-刻蚀； 7-升华；8-塑料聚合； 9-电子抗蚀剂； 10-塑料打孔;（1）电子束打孔 ;电子束加工的异形孔;电子束加工弯曲的孔;（2）电子束切割;（3）电子束焊接;（4）电子束光刻 ;电子束曝光加工过程 A-电子束曝光；B-显影；C-蒸镀；D—离子刻蚀；E、F-去掉抗蚀剂，留下图形 1-电子束；2-电致抗蚀剂；3-基板；4-金属蒸汽；5-离子束；6-金属;第九章 电子束和离子束加工;（5）电子束表面改性 ;第九章 电子束和离子束加工; 1、加工原理 在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦后投射到工件表面。由于离子带??电荷，其质量数比电子大数千倍甚至上万倍，它撞击工件时具有很大撞击动能，通过微观的机械撞击作用从而实现对工件的加工。;相同点：加工原理基本相同。 不同点：离子带正电荷，其质量比电子大数千倍乃至数万倍，故在电场中加速较慢，但一旦加至较高速度，就比电子束具有更大的撞击动能。 电子束加工是靠电能转化为热能进行加工的。 离子束加工是靠电能转化为动能进行加工的。 ; 2、离子束加工的分类 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。分以下四类：;第九章 电子束和离子束加工;;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工;3、特点;4 离子束加工装置;离子束加工装置;离子束加工装置;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工;第九章 电子束和离子束加工;作业