知识点复习资料(3).pdfVIP

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知识点 1 –成膜 (第一份) 1.Sputter 设备生产 FFS产品时, Glass表面温度约为多少摄氏度( 230 ) 2.B3 CF Sheet ID:CBM3X9803EFHG-123400,各位号码意思 ( ) 3.在 B3 CF分厂,下列选项中全部都有 6 轴( Robot RWL,ICL,ANL,ITO4个 ) 4.各 Line 与设备之间的通讯协议是以下哪一项( ) 5. CSA、CSB、CSC及 CSD中 Crane 数量分别为( 1,2,1.1 ) 6.下列靶材与 Sputter 背板直接接触的物质是( 氧化铟锡 ) 7.B3 CF ITO Line共有多少个六轴 Robot (4 ) 8.正确的防尘服穿着顺序是( ) 9. C/F 制作过程中 ,32 寸产品与 18.5 寸产品主要不同点( TN 与 FFS模式不同点 ) 10.属于 PM 时正确做法的是( ) 12.Unpack装 Glass的是 Crate,一般每个 Crate装 0.7t 的 Glass的片数是 (300 ) 13. Sputter 设备的腔体有 Heater 的腔体是 ( M3.1、M4.1、M5.1、M6.1、M7.1、 M7.2、M6.2、M5.2 ) 15.B3 CF Sputter设备每个 Carrier 上 Clamp 的数量为( 18 ) 16.B3 CF Sputter使用的 Carrier 上部从玻璃边缘到第一个 Clamp 的距离为 (26mm ) 17. TFT-LCD显示器的显示性能指标包括 (分辨率,色度,响应速度 对比度 等 ) 18. Carrier到达 Sputter Process Chamber时 Carrier 与 Carrier 之间的间隔为( 重 叠 ) 19. 量产时, Sputter Process Chamber内通入的气体为( 氩气和氧气 ) 20. 在生产的过程中,设备重启 PLC后,哪个部分不需回到原( HOME)点 ( Magazine ) 1 21. B3 CF Sputter设备 Robot Vaccum数值多少以上为正常( -90 ) 22.关于 FFS MODE正确工艺流程的是 ( ) 23. TN Mode 时 Line Flow 中正确流程( ) 24. 3 正 5S 中属于 3 正的是( 正品、正位、正量 ) 25.洁净间内产生最大的污染源因素是( 人 ) 26.RWL的全称是( Rework Line ) 27.等离子体是整体上呈现( 辉光放电 ) 28. Sputter 设备中阳极的电压是( Carrier 上, 电势为零 ) 29. Sputter 设备中作为阳极的是( Carrier 接地 ) 30. TN 模式中 ITO薄膜的主要作用是( 共同电极 ) 31.FFS模式中 ITO薄膜的主要作用是( 电场屏蔽 ) 32.属于 ITO工艺参数的是 (温度、氧气和氩气气体流量及比例、 腔体压力、Power 功率 ) 33. ITO生产模式是( Produ

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