田口式實驗計劃法培训讲义.ppt

* * SN比 10.0 15.0 20.0 25.0 a1 a2 a3 b1 b2 b3 c1 c2 c3 d1 d2 d3 S -2.0 0.0 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0 a1 a2 a3 b1 b2 b3 c1 c2 c3 d1 d2 d3 Step 5.回應圖、表--依據直交的特性，進行每個因素的影響程度的計算 * * Step 6.數據會說話 如何看出選擇的控制因素是正確？ 如何看出選擇的誤差因素是正確？ 如何看出選擇的信號因素是正確？ 在此一個案中，一般情況會將No.1,5,6,8的實驗數據捨棄，因為它們不是太大即是太小。但是藉由有計畫性的實驗，可以得到其他得資訊，因此實驗要有良好得規畫。 * * Step 7.確認實驗 決定最適條件： 可先藉由計算預估可能數據，選擇要件是先求“穩”再求“準”。 進行確認實驗： 用現行及最適條件分別進行實驗，並評估其成效。 再進一步的功用： 當公差太大或平均值不符合目標時，可起重新觀看輔助圖、表。以決定最適的條件。 未來規格有變化時，可藉由輔助圖表快速決定一個適當的加工條件。 * * 附錄二：BOX在分析階段實施步驟及有需要做ANOVA分析？ * * BOX類型個案說明 * * Injector Dummy Dummy Boat2 Boat3 Boat4 Boat5 Heating Block Baffle 內管 外管 * * 實驗結果 * * 特性一： “Boat5 Within Wafer Rs值STDEV.” ANOVA RESULT : 合併(Pooling) “B”, “D”, “C” -------------------------------------------------------------------------------------- FACTOR | Si | DF | V | F | @(%) | -------------------------------------------------------------------------------------- AD 1.292028 1 1.292028 39.32181 46.2997 ** CD 0.712221 1 0.712221 21.67586 24.9802 * AC 0.494515 1 0.494515 15.05016 16.9751 * A 0.122265 1 0.122265 3.721039 3.28751 e 0.098573 3 0.032857 8.45728 -------------------------------------------------------------------------------------- St= 2.719602 @t= 91.5427 * * “AD”為極顯著因子“CD””AC”為顯著因子 * * * * 自行閱讀--L8直交表的ANOVA分析步驟 Step 1.求出所有實驗的差異,亦即誤差變動Se 將Avg-1~Avg-8數值個別平方再相加,個數d.f為8.稱St St=2.235^2+…+2.329^2 將Avg-1~Avg-8相加再平方再除以n，個數d.f為1.稱Sm Sm={(2.235+…+2.329)^2}/8 St-Sm=Se=2.7196,個數d.f為fe=8-1,再將Se/d.f=Ve=stdev(2.235…2.329)^2 Step 2.求出各因素的影響程度Sa,Sb… 要因A所造成的影響大小為Sa，個數d.f為2-1，Sa計算式如下 Sa=(2.3^2+2.35^2)*4-Sm=0.12227 Va=Sa/個數=0.1227/(2-1) * * Step 3.針