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氯硅烷的歧化工艺——岳菡 1、问题的由来： 我国 90%的多晶硅都是基于 TCS的改良西门子法生产的， 基于 TCS的改良西 门子法在我国发展很快， 且日益完善。 随着大家对这项工艺的认识逐步深入， 这 项工艺一些先天性的不足也就暴露出来， 引起业界广大同仁的关注。 在此背景下， 由氯硅烷歧化回收 DCS并制取硅烷、硅烷在西门子反应器中的热分解沉积及流化 床法制取多晶硅等一系列技术就自然而然地走入了人们的视线！ 上世纪七十年代，美国能源部（ DOE）主持了一个庞大的项目：平板太阳能 电站，这个项目旨在：降低造价、提高效率、延长寿命和增加可靠性。这个项目 涉及硅材料的子项目由美国喷气动力实验室（ JPL）牵头，美国联合碳化物公司 （UCC）利用美国早期在氯硅烷化学领域内的丰富研究成果， 在 STC氢化制取 TCS （即国内所说的冷氢化） 、氯硅烷歧化制取硅烷、 硅烷在西门子反应器中的热分 解沉积制取高纯度多晶硅以及流化床法制取低成本多晶硅技术方面承担了大量 开拓性的工作，包括一套年产 100 吨的实验装置（ EPSDU）和一座建在华盛顿州 Moses Lake 的年产 1200 吨的高纯硅工厂，这座工厂就是后来著名的 SGS和现在 REC多晶硅工厂的前身。 UCC 当年在 Moses Lake 的工厂 硅烷裂解沉积车间 UCC 的这项技术在四十年后的今天仍然展现其巨大的实用价值： 1 ）四氯化硅高压低温流化床氢化技术解决了低成本回收四氯化硅的问题； 2 ）氯硅烷的歧化技术解决了二氯二氢硅的回收问题； 3 ）硅烷的低温精馏技术 +硅烷在西门子反应器中裂解沉积解决了制取高纯 度半导 体级多晶硅的问题； 4 ）硅烷的流化床沉积技术解决了低成本制取太阳级多晶硅的问题，等等。 UCC 在上世纪七十年代创新性开发的这一系列工艺及这一系列技术成功的 产业化应用，为众多的基于 TCS的改良西门子法工厂改造升级——实现产品的高 质量和物料的全循环，提供了一个广阔的空间和极有现实价值的工艺路线。 美国多晶硅业界珍藏着关于 UCC这项工艺的一本纪念册，这本纪念册中的 人员就是上世纪七十至八十年代 UCC这项工艺的开发及工业化实施团队。 2、歧化反应： 歧化反应按照教科书上的解释是一种自身氧化还原反应，说是在歧化反应 中，同一种元素的一部分原子 ( 或离子 ) 被氧化，另一部分原子 （或离子）被还原。 但是说起来简单，判断起来又比较复杂， 有一些反应实际上具备上述特征， 但又不属于歧化反应，而相关的解释又让人一头雾水！ 还是让我们就事论事地引用 SCC（UCC技术的嫡传公司） 对我们所关心的歧 化反应的解释吧，实际上在氯硅烷化学中，歧化反应也就涉及这么 5 种化合物： HSiCl3 （TCS）、H2SiCl2 （DCS）、SiCl4 （STC）、H3SiCl （MCS）和 SiH4 （Silane 或 MS），这五种化合物有一个特性，就是在合适的催化剂作用下，氯 原子和氢原子与硅原子所连接的化学键能够自由地打开， 这样围绕硅原子的氯原 子和氢原子可以互相转移， 而转移平衡后形成的混合物之性质取决于氯原子和硅 原子的比值（简称氯 - 硅比 Cl/Si ），由此而发生的一系列反应称之为歧化反应。 由于反应产物的氯氢原子进行重新分配， 所以氯硅烷化合物的这种反应也称之为 再分配反应。 下列这一系列反应是同时发生的，在下述反应中，发生了两分子以上 的