第七章透射电子显微镜.pptxVIP

第七章 透射电子显微镜;透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 透射电镜的外观照片如右图。 通常透射电镜由;照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。电子枪是发射电子 波的照明光源。聚光镜是把电子枪发射出来的电子波进一 步会聚后照射到样品上。照明系统的作用就是提供一束亮 度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 ;1.电子枪;场发射枪性能优异，具有束斑尺寸小、亮度高、能量分散度小等特点.; 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束。一般都采用双聚光镜系统，如右图所示。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 ;由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜（1、2）和投影镜组成 ;2.中间镜;3.投影镜;高性能的透射电镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有 两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。;4.相对位置 试样、物镜、中间镜、投影镜四者之间的相对位置是：试样放在物镜的物平面上，物镜的像平面是中间镜的物平面，中间镜的像平面是投影镜的物平面。物镜、中间镜、投影镜三者结合起来，给出电镜的总放大倍率。;观察与记录系统;第二节 主要部件结构与工作原理;样品台;电子束倾斜与平移装置 ;消像散器;在透射电子显微镜中有许多固定光阑和可变光阑，它们的作用主要是挡掉发散的电子，保证电子束的相干性和照射区域。其中三种主要的可变光阑是第二聚光镜光阑，物镜光阑和选区光阑。光阑都用无磁性的金属（铂、钼等）制造。 ;1.第二聚光镜光阑;2.物镜光阑;挡掉了大角度的非弹性电子，减少色差，提高衬度。; 为了分析样品上的微区，应在样品上放置光阑来限定微区，对该微区进行衍射分析叫做选区衍射。该光阑是选区光阑，也称限场光阑或视场光阑。因为要分析的微区很小，一般数微米量级，要做这样小的光阑孔在技术上有难度，也很容易污染，因此选区光阑都放???在物镜的像平面位置，可以达到放置在样品平面上的效果，而且光阑可以做的更大些。 ? 如果物镜的放大倍数是50，则一个直径为50um的光阑可以选择样品上1um的微区。;选区光阑又称视场光阑。衍射分析时，用以限制和选择样品分析区域， 实现选区电子衍射。选区光阑安放在物镜的像平面上，光阑孔径在100~400?m， 若物镜放大100倍，对应的样品区域为1~4?m;第三节 透射电子显微镜的分辨率和放大倍数;电镜三要素;200kV高分辨透射电子显微镜 ;分辨率的测定;3mm/(10000*10)=30nm;2.晶格分辨率的测定;3.放大倍数的测定;利用光栅复型上喷镀碳微粒法。适用于5000-50000倍的情况。;晶格条纹像法。利用测定晶格分辨率的样品为标样，拍摄条纹像，测量条纹像间距，再计算条纹像间距与实际晶面间距的比值，即为放大倍数。适用于高倍，如10万倍以上的情况。