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4 电容传感器;;? 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。 ;电容式位移传感器的位移测量范围在1um—10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3um。; S ——极板的遮盖面积，单位为m2，书中为A； ε ——极板间介质的介电系数； δ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。;;δ;下极板上移：;???去高次项，得：;变极距型电容传感器在设计时要考虑满足Δδδ0的条件。且一般Δδ只能在极小的范围内变化。 ;差动式变极距型电容传感器;提高一倍;;显然：电容Cθ 与角位移θ呈线性关系。 ;;线性;;厚度传感器;;液位传感器;;;图5-5 变面积型电容传感器原理图 ;4.3 电容元件的等效电路;有效电容为：;误差因素：温度（尺寸、介电常数）、漏电阻Rp（低频）、边缘效应（产生非线性）、寄生电容（不稳定） 设计原则： 电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与其正确设计、选材以及精细的加工工艺分不开的。在设计传感器的过程中，在所要求的量程、温度和压力等范围内，应尽量使它具有低成本、高精度、高分辨力、稳定可靠和高的频率响应等。;1．保证绝缘材料的绝缘性能 减小环境温度、湿度等变化所产生的误差,以保证绝缘材料的绝缘性能,温度变化使传感器内各零件的几何尺寸和相互位置及某些介质的介电常数发生改变,从而改变传感器的电容量,产生温度误差。湿度也影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值。因此必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差和保证绝缘材料具有高的绝缘性能。 ;2．消除和减小边缘效应 适当减小极间距，使电极直径或边长与间距比增大，可减小边缘效应的影响，但易产生击穿并有可能限制测量范围。电极应做得极薄使之与极间距相比很小，这样也可减小边缘电场的影响。此外，可在结构上增设等位环来消除边缘效应。 边缘效应引起的非线性与变极距型电容式传感器原理上的非线性恰好相反，在一定程度上起了补偿作用。 ;3．消除和减小寄生电容的影响;4．防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时，仪器无法正常工作。此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措施归纳为：???;4.5.1 调制型电路 一. 调频电路;（一） 交流激励电路 ;（二） 电桥电路 1.普通电桥电路 ;;2.耦合电感电桥 （1）紧耦合电感电桥;3.变压器式 交流电桥;4.5.2 脉冲型电路 1. 二极管双T形电路;(b);故在负载RL上产生的电压为： ;双T电路的特点： ①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； ②电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； ③输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； ④适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。 ;又称差动脉冲调宽 电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。; 当接通电源后，若触发器Q端为高电平(U1)， 端为低电平(0)，则触发器通过R1对C1充电；当F点电位UF 升到与参考电压Ur 相等时，比较器A1产生一脉冲使触发器翻转，从而使Q端为低电平， 端为高电平(U1)。此时，电容C1通过二极管D1迅速放电至零，而触发器由 端经R2向C2充电；当G点电位UG与参考电压Ur相等时，比较器A2输出一脉冲使触发器翻转，此时，电容C2通过二极管D2迅速放电至零，如此交替激励。; 显然，电路充放电的时间，即触发器输出方波脉冲的宽度受电容C1、C2的调制。当C1=C2 时，电路各点的电压波形如图6-83 (a)所示，Q和 两端电平的脉冲宽度相等，两端间的平均电压为零。当差动电容C1和C2的值不相等，例如C1＞C2时，C1和C2充放电时间常数发生变化，电路中各点的电压波形如图所示。;;根据电路知识可知： ;A、B两点间的电压经低通滤波器滤波后获得，等于A、B两点电压平均值UA与UB之差，; 对于差动式变极距型电容传感器：;;3.运算放大器电路 ;如果传感器是一只平行板电容，则：