半导体材料与工艺之晶体生长原理.pptxVIP

1;2;(2)液相生长:伴随在液-固相变过程中的结晶过程，包括从溶液中生长晶体(通常是薄层)的液相外延过程和从熔体中生长晶体的正常凝固过程和区域熔炼过程。例如。GaAs衬底上的GaAlAs液相外延和用直拉法生长硅单晶等。 (3)气相生长:伴随在气-固相变过程中的结晶过程，包括晶体薄膜的气相外延生长过程和利用升华法生长难熔晶体的过程。例如，SiH4生长硅薄膜的外延过程和碳化硅块状晶体的生长过程等。 ;4;5;6;7;8;液相生长(从熔体中生长);液相生长(从熔体中生长);液相生长(从熔体中生长);气相生长;气相生长;气相生长;从溶液中生长;从溶液中生长;从溶液中生长;18;19;20;21;22;23;24;25;26;27;28;29;30;31;32;33;34;35;36;37;38;39;40;41;二维晶核模型 ;43;44;45;46;液态金属中的温度分布（a）正的温度梯度（b）负的温度梯度;48;49;50;生长过程中晶面的扩展与消失 a密排面 b非密排面;（a）金刚石结构{111}密排面，外形正八面体 （b）[111]籽晶。正八面体在(111)面上的投影，正六边形 （c） [111]籽晶。籽晶旋转。三条棱线或者六条棱 （d）[001]籽晶。籽晶旋转。四条棱线 （e） [110]籽晶。籽晶旋转。二条棱线;53;54;55;56;57;58;59;60;61;62;63;64;65;66;67;68;69;70;71;72;73;74;75;76;77;78;完