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70MW 多晶硅太阳能电池片生产线
参考设计方案
- 1 -
第一部分 ：
生产线概况
第二部分：
生产线技术说明
第三部分：
设备清单
第四部分：
投资状况
- 2 -
第一部分
生产线概况
1. 整线方案概述
该生产线用于多晶硅太阳能电池片的生产，年设计产能 60~80MW。适用于
156mm×156mm硅片，整线分段自动化，人工干涉少，运行稳定，电池片性能一
致性好，具有较高的投入 / 产出比。
整线工艺路线如下：
多晶硅片投入
多晶制绒
扩散制结
等离子刻蚀
去磷硅玻璃清洗
PECVD镀膜
丝网印刷
烘干/ 烧结
测试分档
电池片产出
- 3 -
2 ．整线技术规格
2 ．1 进料硅片规格
◆P 型多晶，纯度≥ 99.9999%；
◆尺寸 156mm×156mm，厚度 180±20 μm。
2 ．2 电池片规格
◆转换效率：
良品的平均光电转换效率 16.5%。
2
测试标准：光伏工业国家标准 GB/T6495，地面条件 AM1.5，1000W/m，25℃。
太阳能模拟器、 校准样片、校准流程均必须通过 TUV等国际权威机构的认证。
2 ．3 产能
◆良品率：
良品率 97~98%。
不良品定义：碎片；铝包；效率 10%；并联电阻 Rsh 6 Ohm。
◆产能（良品）：
按 4W/片，产能 70MW/年，即 1800 万片/ 年； 6.4 万片/ 天（按 28 工作日 /
月计算）； 2800 片/ 小时（按 23 小时/ 天计算）。
- 4 -
第二部分：
生产线技术说明
2 ．1 制绒
制绒设备技术说明见附件
2 ．2 扩散
本工艺使用液态磷源，在高温环境下对硅片进行磷扩散，从而在硅片表面形成
PN结。
工艺流程
装片
进舟
初始氧化
预淀积
驱入
退舟冷却
方块电阻检测
清洗 镀膜
分选
卸片
技术规格
(1) PN 结深： 0.3 ～0.5 μm；
(2) 方块电阻： 40～60 Ohm；
(3) 方块电阻均匀性：片内 6% ；片间 5% ；批间： 5% 。（ 156mm×156mm）
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