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扫描电子显微镜知识 A—Z / SEM 的构造 扫描电子显微镜（ Scanning Electron Microscope ：SEM ）是观察样品表面的装 置。用很细的电子束 （称为电子探针）照射样品时， 从样品表面会激发二次电子， 在电子探针进行二维扫描时， 通过检测二次电子形成一幅图像， 就能够观察样品 的表面形貌。 SEM的构造 装置的结构 SEM 由形成电子探针的电子光学系 统、装载样品用的样品台、 检测二次电 子的二次电子检测器、 观察图像的显示 系统及进行各种操作的操作系统等构 成 （图1），电子光学系统由用于形成电 子探针的电子枪、聚光镜、物镜和控制 电子探针进行扫描的扫描线圈等构成， 电子光学系统（镜筒内部） 以及样品周 围的空间为真空状态。 图1 SEM 的基本结构 1 图2 电子枪的构造图 电子枪 电子枪是电子束的产生系统，图 2是热发射电子枪的构造图。将细（ 0.1 mm 左 右）钨丝做成的灯丝（阴极）进行高温加热（ 2800K 左右）后，会发射热电子， 此时给相向设置的金属板（阳极）加以正高圧（ 1～30kV ），热电子会汇集成电 子束流向阳极， 若在阳极中央开一个孔， 电子束会通过这个孔流出， 在阴极和阳 极之间，设置电极并加以负电圧，能够调整电子束的电流量，在这个电极（被称 为韦氏极）的作用下，电子束被细聚焦，最细之处被称为交叉点（ Crossover) ， 成为实际的光源 (电子源 )，其直径为 15～20 μm 。 以上说明的是最常用的热发射电子枪， 此外还有场发射电子枪和肖特基发射电子 枪等 。热发射电子枪的阴极除使用钨丝外，还使用单晶六硼化镧 (LaB6) ， LaB6 由于活性很强，所以需要在高真空中工作。 2 透镜的构造 电子显微镜一般采用利用磁铁作用的磁透镜。当 绕成线圈状的电线被通入直流电后，会产生旋转 对称的磁场，对电子束来说起着透镜的作用。由 于制作强磁透镜（短焦距的透镜）需要增加磁力 线的密度， 如图 3所示，线圈的周围套有铁壳 （轭 铁），磁力线从狭窄的开口中漏洩出来， 开口处被 称作磁极片 （极靴），经精度极高的机械加工而成。 磁透镜的强度能随通入线圈的电流改变而改变， 这是光学透镜所不具备的特长。 图3 磁透镜的构造 SEM的景深 在观察有纵深感的样品时，如果近处聚焦了，远处就离焦。在这种情况下，远、 近图像模糊圈大，叫做景深大，如果远、近图像模糊圈小，叫做 景深小。图 8 如所示，电子探针的平行度高（孔径角小） ，即使焦点变化很大，图像也保持聚 焦，如果电子探针有一定的角度（孔径角大） ，焦点即使变化很小，图像离焦也 很严重。象光学显微镜不使用电子探针时， 从样品方向看到的物镜角度 （孔径角） 小景深则大，角度大 景深则小。另一方面，即便是图像模糊，在倍率低的时候 感觉不到，但在倍率增大的时候能够发现，也就是说， 景深也随放大倍率的变