低温等离子体.pdf

所谓等离子体是继固体、 气体、液体三态后， 列为物质的第四态， 由正离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相 等，故称为“等离子体” 。 等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度 =离子温度）与非 平衡态（电子温度 离子温度）两类。 非平衡态等离子体电子温度可上万度， 离子及中性离子可低至室 温，即体系表观温度仍很低，故称“低温等离子体” ，一般由气体放 电产生。 气体放电有多种形式， 其中工业上使用的主要是电晕放电 （在去 除废气中的油尘上应用已相当成熟） 和介质阻挡放电 （用于废气中难 降解物质的去除）两种。 低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离 子体处理废气的原理为： 当外加电压达到气体的放电电压时， 气体被击穿，产生包括电子、 各种离子、 原子和自由基在内的混合体。 低温等离子体降解污染物是 利用这些高能电子、 自由基等活性粒子和废气中的污染物作用， 使污 染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。 低温等离子体的产生途径很多， 我们使用的低温等离子体工业废 气 处 理 技 术 采 用 的 放 电 形 式 为 双 介 质 阻 挡 放 电 (Dielectric Barrier Discharge, 简称 DBD)。装置示意图如图 1 所示。 图 1 介质阻挡放电示意图 DBD放电净化设备优点 : 介质阻挡放电是一种获得高气压下低温等离子体的放电方法， 由 于电极不直接与放电气体发生接触， 从而避免了电极的腐蚀问题。 介 质阻挡放电等离子体技术具有以下优点： ①介质阻挡放电产生的低温等离子体中， 电子能量高，几乎可以 和所有的气体分子作用。 ②反应快，不受气速限制。 ③电极与废气不直接接触，不存在设备腐蚀问题。 ④只需用电，操作极为简单，无需专人员看守，基本不占用人工 费。 ⑤设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响。 ⑥气阻小，适用于高流速，大风量的废气处理。 ⑦工艺已相对成熟。 低温等离子体技术 ( 介质阻挡放电 ) 净化原理为： 在外加电场的作用下， 介质放电产生的大量携能电子轰击污染物 分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化 学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质， 或使有毒 有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质， 从而使污染物异味得以降 解去除。因其电离后产生的电子平均能量在 1eV～10eV，适当控制反 应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十 分快速。其能量传递过程为： 电场+电子 高能电子 受激电子 高能电子 +分子（或原子） 受激分子 活性基因 自由基 活性基因 +分子（或原子） 生成物 +热 活性基因 +活性基因