低温等离子体的产生方法.pdf

辉光放电电晕放电介质阻挡放电射频放电滑动电弧放电射流放电大气压辉 光放电次大气压辉光放电 辉光放电 (Glow Discharge) 辉光放电属于低气压放电 (low pressure discharge)，工作压力一般都低于 10mbar，其构造是在封闭的容器內放置两个平行的电极板，利用电子将中性原 子和分子激发，当粒子由激发态 (excited state)降回至基态 (ground state)时会以光 的形式释放出能量。电源可以为直流电源也可以是交流电源。每种气体都有其 典型的辉光放电颜色 (如下表所示 )，荧光灯的发光即为辉光放电。因此，实验时 若发现等离子的颜色有误，通常代表气体的纯度有问题，一般为漏气所至。辉 光放电是化学等离子体实验的重要工具，但因其受低气压的限制，工业应用难 于连续化生产且应用成本高昂，而无法广泛应用于工业制造中。目前的应用范 围仅局限于实验室、灯光照明产品和半导体工业等。 部分气体辉光放电的颜色 Gas He Ne(neon) Ar Kr Xe H2N2O2 Air Cathode Layer red yellow pink -- 1 / 5 red-brown pink red pink Negative Glow pink orange dark-blue green orange-green thin-blue blue yellow-white blue Positive Column Red-pink red-brown dark-red blue-purple white-green pink red-yellow red-yellow red-yellow 次大气压下辉光放电 (HAPGD)产生低温 等离子体 由于大气压辉光放电技术目前虽有报道但技术还不成熟，没有见到可用于 工业生产的设备。而次大气压辉光放电技术则已经成熟并被应用于工业化的生 产中。次大气压辉光放电可以处理各种材料，成本低、处理的时间短、加入各 种气体的气氛含量高、功率密度大、处理效率高。可应用于表面聚合、表面接 枝、金属渗氮、冶金、表面催化、化学合成及各种粉、粒、片材料的表面改性 和纺织品的表面处理。次大气压下辉光放电的视觉特征呈现均匀的雾状放电； 放电时电极两端的电压低而功率密度大；处理纺织品和碳纤维等材料时不会出 2 / 5 现击穿和燃烧并且处理温度接近室温。次大气压辉光放电技术目前可用于低温 材料、生物材料、异型材料的表面亲水处理和表面接枝、表面聚合、金属渗 氮、冶金、表面催化、化学合成等工艺。由于是在次大气压条件下的辉光放 电，处理环境的气氛浓度高，电子和离子的能量可达 10eV 以上。材料批处理的 效率要高于低气压辉光放电 10 倍以上。可处理金属、非金属、（碳）纤维、金 属纤维、微粒、粉末等。 低温等离子体的应用领域 低温等离子体物理与技术经历了一个由 60 年代初的空间等离子体研究向 80 年代和 90 年代以材料为导向研究领域的大转变，高速发展的微电子科学、环境 科学、能源与材料科学等，为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和挑战。 现在 ,低温等离子体物理与应用已经是一个具有全球影响的重要的科学与工 程，对高科技经济的发展及传统工业的改造有着巨大的影响。例如， 1995 年全 球微电子工业的销售额达 1400 亿美元，而三分之一微电子器件设备采用等离子 体技术。塑料包装材料百分之九十都要经过低温等离子体的表面处理和改性。 科学家预测： 二十一世纪低温等离子体科学与技术将会产生突破。据估计，低温等离子 体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体 合成、等离子体冶金、等离子