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低温等离子体介绍 基本概念 等离子体是物质存在的第四种状态。 它由电离的导电气体组成， 其中包括六种典 型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子 以及光子。 事实上等离子体就是由上述大量正负带电粒子和中性粒子组成的， 并表现出集体 行为的一种准中性气体， 也就是高度电离的气体。 无论是部分电离还是完全电离， 其中的负电荷总数等于正电荷总数，所以叫等离子体。 等离子体的分类 1、按等离子体焰温度分： （1）高温等离子体：温度相当于 108~109 K 完全电离的等离子体，如太阳、受 控热核聚变等离子体。 （2 ）低温等离子体： 热等离子体：稠密高压（ 1 大气压以上），温度 103~105K ，如电弧、高频和燃 烧等离子体。 冷等离子体：电子温度高（ 103~104K ）、气体温度低，如稀薄低压辉光放电等 离子体、电晕放电等离子体、 DBD 介质阻挡放电等离子体、索梯放电等离子体 等。 2 、按等离子体所处的状态： （1）平衡等离子体： 气体压力较高， 电子温度与气体温度大致相等的等离子体。 如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。 （2 ）非平衡等离子体：低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离 子体。如低气压下 DC 辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下 DBD 介质阻挡 放电等产生的冷等离子体。 什么是低温（冷）等离子体？ 冰升温至 0 ℃会变成水，如继续使温度升至 100 ℃，那么水就会沸腾成为水蒸气。 随着温度的上升，物质的存在状态一般会呈现出固态 →液态 →气态三种物态的转 化过程， 我们把这三种基本形态称为物质的三态。 那么对于气态物质， 温度升至 几千度时， 将会有什么新变化呢 ? 由于物质分子热运动加剧， 相互间的碰撞就会 使气体分子产生电离， 这样物质就变成由自由运动并相互作用的正离子和电子组 成的混合物 （蜡烛的火焰就处于这种状态） 。我们把物质的这种存在状态称为物 质的第四态， 即等离子体态 (plasma) 。因为电离过程中正离子和电子总是成对出 现，所以等离子体中正离子和电子的总数大致相等， 总体来看为准电中性。 反过 来，我们可以把等离子体定义为：正离子和电子的密度大致相等的电离气体。 从刚才提到的微弱的蜡烛火焰， 我们可以看到等离子体的存在， 而夜空中的满天 星斗又都是高温的完全电离等离子体。据印度天体物理学家沙哈 (M ·Saha ， 1893-1956) 的计算，宇宙中的 99.9% 的物质处于等离子体状态。而我们居住的 地球倒是例外的温度较低的星球。 此外，对于自然界中的等离子体， 我们还可以 列举太阳、电离层、极光、雷电等。在人工生成等离子体的方法中，气体放电法 比加热的办法更加简便高效，诸如荧光灯、霓虹灯、电弧焊、电晕放电等等。在 自然和人工生成的各种主要类型的等离子体的密度和温度的数值， 其密度为 106 （单位：个／m3 ）的稀薄星际等离子体到密度为 1025 的电弧放电等离子体， 跨越近 20 个数量级。其温度分布范围则从 100K 的低温到超高温核聚变等离子 体的 108-109K （1~10 亿度）。温度轴的单位 eV(electron volt) 是等离子体领域 中常用的温度单位， 1eV=11600K 。 通常，等离子体中存在电子、正离子和中性粒子 (