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现代半导体器件物理与工艺.pptxVIP

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  • 2021-10-16 发布于重庆
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现代半导体器件物理与工艺.pptx

    晶体生长和外延;晶体生长与外延;CZ法生长单晶硅－起始材料;Cz直拉法;;掺杂物质的分布;;;;;有效分凝系数;;;;悬浮区熔法;;;;;;;;砷化镓晶体的生长技术－起始材料;;砷化镓生长工艺;;布理吉曼法;材料特性－晶片切割;;;晶体特性－晶体缺陷;;;;材料特性;;晶体外延;;;;;;;;外延层的构造和缺陷－晶格匹配及形变层外延;外延层缺陷;

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