PZT薄膜的结晶特性及红外特性[参照].pdf

第 3 7卷 第 6 期 　　　　　　　　　　 　　　　　 上海师范大学学报 ( 自然科学版 ) Vol. 37 , No. 6 2 0 0 8年 12 月 　　　　　　　　　　 Journal of Shanghai Normal University (Natural Sciences) 2 0 0 8 , Dec 1 PZT 薄膜的结晶特性及红外特性 , 谢东珠 任玉磊 (上海师范大学 数理学院 , 上海 200234 ) ( ) ( 摘 　要 : 采用电子束蒸发方法在 n - Si 100 衬底上制备 Pb Zrx Ti1 - x ) O3 (简记为 PZT)多晶薄 膜 . 用 X 射线衍射分析了 PZT薄膜的结晶择优取向与 Zr/Ti 成分比 、生长温度 、退火气氛和退 ( ) 火温度的关系 . 结果表明不同 Zr/Ti 比的薄膜在真空中退火都形成 110 择优取向 ;而在空气 中退火后薄膜的择优方向与 Zr/ Ti 成分比有关 , Zr/Ti 比值小时为 ( 101)择优取向 , Zr/ Ti 大时 ( ) ( ) ( ) 为 100 择优取向 . 红外吸收光谱的测量结果表明 100 和 110 择优取向的 PZT薄膜在长红 外波段 ( ～ μ )存在较强的吸收峰 而 ( )择优取向的 薄膜在这一波段没有明显的 8 12 m , 101 PZT 吸收峰 . 关键词 : PZT材料 ; 择优取向 ; X 射线衍射 ; 红外吸收光谱 O482 . 2 A 1000 5137 ( 2008 ) 06 0587 05 中图分类号 : 　　文献标识码 : 　　文章编号 : 2 2 2 0　引 　言 ( x x ) ( ) Pb Zr Ti1 - O3 PZT 薄膜是一种钙钛矿型化合物 , 具有优越的铁电性 、压电性和热释电性 . PZT 材料的物相随 Zr/ Ti 的变化而变化 , Zr/Ti 52 /48 时 , PZT材料为四方相 ; Zr/ Ti 52 /48 时 , PZT材料 为三角相 ; Zr/ Ti = 52 /48 附近 , PZT材料处于准同型相界 , 四方相和三角相共存 ; 在 Zr/ Ti = 95 /5 附近 , PZT材料为反铁电相 , 无压电性 [ 1～4 ] . 在热处理过程中 PZT薄膜从无定形相经焦绿石相转变为钙钛矿 相 [ 3 ～6 ] ( )