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微纳加工与微纳器件 段智勇 * 物质世界的组成 研究内容 1959年，“There‘s Plenty of Room at the Bottom ”,著名物理学家理查德·费曼提出：在分子水平上有足够空间建造微型机器 ； 目前已有14nm特征线宽CPU销售； 2015年，以STMicroelectronics为代表、MEMS器件市场总额预计为256亿美元； 另外，可穿戴电子系统、超材料、光子晶体、高密度存储、显示器件、亚波长器件等蓬勃发展。 研究内容 微纳科学技术研究10-3~10-9m范围内的器件以及器件制备技术。包括： 基于多物理基础的材料增加或者材料去除技术； Up to down； Down to Up； 基于多功能材料和多物理机制的微纳传感、微纳驱动。 MEMS/NEMS； Optic MEMS； Bio MEMS； Lab On Chip （微流控芯片） 微能量采集系统； 研究内容 微纳加工技术涉及科学领域极为广泛。 物理、化学、机械、电子、材料、信息、力学等等，是名副其实的交叉学科。 微纳器件是现代智能社会的基石。 微米器件很多已经进入国民生产，理论和技术均比较成熟。 纳米器件的研究似更有探索的价值。 微纳跨尺度加工是近年的热点，获得多个国家重大、重点