设备工艺真空及薄膜基础.pptx

真空及薄膜基础 ;我们生产的为非晶硅薄膜太阳能电池，了解PECVD设备及工艺需要对真空镀膜有一个了解，并且对半导体物理及薄膜知识有一定的认识。 我们先对薄膜的概念做一个粗略的了解。 薄膜：在严格的学术意义上，认为只有聚集厚度小于某一特征厚度的材料才是真正的薄膜，否则便是一般的薄材料。 特征厚度：是利用物质的某些基本性质在物质聚集厚度很薄的情况下会发生异常变化的现象而确定的，即当被选定为参考的某一物理性质或机械性质开始显示出不同于它通常所具有的特点时的厚度，便是给物质的薄膜特征厚度。 可以认为薄膜是一种二维的材料。 沉积技术：气相沉积（将构成薄膜的物质气化后在沉积到衬底上） 液相沉积（在液体中沉积镀膜） 气相沉积：比较容易控制薄膜的组分 液相沉积：在接近于热平衡的条件下成膜，能获得较好的膜质。 气相沉积又分物理气相沉积（physical vapor deposition）和化学气相沉积 （chemical vapor deposition）;;气相沉积成膜的一般过程：;非晶薄膜太阳能电池生产需要的镀膜方式：;薄膜的主要性能;薄膜分析常用方法汇总;真空知识;真空泵：用以产生、改善和维持真空的装置。分气体传输与捕集两种。 平均自由程：一个分子每连续与其他两个气体分子碰撞所走过的路程，叫做自由程。相当多自由程的平均值叫做平均自由程。 粘滞流：气体分子平均自由程远小于导管最小界面尺寸的流态。此时的流动取决于气体的粘滞性，粘滞流可以使层流或滞流。 中间流：在层流和分子流之间状态下分子通过导管的流动。 分子流：气体分子平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态。 流量：单位时间通过某一界面的气体体积。;不同真空状态下真空工艺应用;常用密封方式;腔室内壁对气体分子的吸附与脱附;真空获得;工作过程： 气体从入口进入转子和定子之间 偏轴转子压缩空气并输送到出口 气体在出口累积到一定压强，喷出到大气 工作范围及特点： Atmosphere to 10-3 torr 耐用，便宜 由于泵的定子、转子都浸入油中，每周期都有油进入容器，有污染。 要求机械泵油有低的饱和蒸汽压、一定润滑性、黏度和??稳定性。;旋片式机械泵工作示意图;气镇的运用; 罗茨泵工作原理;液力联轴器简单介绍;罗茨泵特点：;罗茨泵转子冷却问题;常出现问题;扩散泵介绍;扩散泵与分子泵的比较;油扩散泵真空系统操作注意事项;扩散泵常见故障;干泵;爪式泵排气步骤;爪式结构干泵;真空计;冷阴极电离真空计是利用的潘宁放电原理。 潘宁放电是将放电系统放入一轴向磁场，在低压下使残留的电子，离子等在电磁场的影响下做轮滚线运动（直线运动与圆周运动的和运动），这无疑增加了电子的运动轨迹，可以加速到更高的速度，与气体中性分子碰撞，使其电离，这与磁控溅射有相似之处。 热阴极需要加热灯丝来释放电子，冷阴极利用的是低压空间残留带电粒子。 ;常用到的真空计;氦质谱检漏仪;使用氦气作为示踪气体的原因;氦质谱检漏仪的工作原理; 检漏原则及方法;检漏步骤;检测部位;检漏仪技术参数;等离子体;等离子体的发生：;Pecvd设备;PECVD主要工艺参数;薄膜沉积用到特气及作用;THE END THANKS!