电子显微镜和其附属设备基本原理及用途.pptVIP

电子显微镜及其附属设备的结构、基本原理、用途及其使用方法;第一部分透射式电子显微镜;1.透射式电子显微镜外形及其基本结构;电子光学系统;真空系统;数据采集系统;高压及其电源系统;电子控制系统;2.透射电子显微镜的基本工作原理;;电子光路及其成像系统;不同放大倍率下TEM的电子光学成像机理;透射电镜入射电子与试样相互作用所产生的 部分电子与信号示意图;;B.弹性散射电子像;C非弹性散射电子像;3.透射电镜的应用范围;4.透射电镜的制样方法;第二部分扫描电子显微镜;1.外形及其基本构造;高压及其电源系统;电子光学系统;电子控制系统;2.扫描电镜的基本工作原理;电子光学系统工作原理;图像采集系统;真空系统;3.扫描电镜的应用范围;扫描电镜的制样方法;第三部分电镜的各种附属设备;1.离子溅射仪;2.超薄切片机;3.离子减薄仪;4.EDS;B.EDS的适用范围：由于EDS采用Be做为窗口，所以他可测量的元素在B～U之间。同时尽量采用与所测量的元素不同材料，做为试样的支撑体，从而减小误差。 C.使用方法： a.透射电镜附件EDS的使用方法：EDS试样与TEM试样制作基本相同。将样品倾斜15度角，调整TEM、EDS的参数使CPS达到1000~6000之间，选择合适的试样位置后，采集X－射线谱。采集完成后，选择适当的算子对谱图进行计算。从而 得到试样中相应元素的定性、定量分析数据。; b.扫描电镜附件EDS的使用方法：SEM-EDS制样与SEM相同，定性、定量方法与TEM-EDS的使用基本相同。SEM－EDS除具有普通的定性、定量功能外，还具有线、面分析功能及其粒度分布统计功能。 C.SEM-EDS线分析功能：该功能可以测试出试样表面任意方向上的元素分布、变化规律。