半导体芯片制造工半导体芯片制造高级工试卷.docVIP

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试卷第 PAGE 1 页共 NUMPAGES 1 页 半导体芯片制造工半导体芯片制造高级工试卷 姓名:_____________ 年级:____________ 学号:______________ 题型 选择题 填空题 解答题 判断题 计算题 附加题 总分 得分 评卷人 得分 1、禁带宽度的大小决定着( )的难易,一般半导体材料的禁带宽度越宽,所制作的半导体器件中的载流子就越不易受到外界因素,如高温和辐射等的干扰而产生变化。 2、硅片减薄腐蚀液为氢氟酸和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用( )系、氢氧化氨系蚀腐蚀液。 3、铝丝与铝金属化层之间用加热、加压的方法不能获得牢固的焊接,甚至根本无法实现焊接的原因是铝的表面在空气中极易生成一层( ),它们阻挡了铝原子之间的紧密接触,达不到原子之间引力范围的间距。 4、在半导体制造工艺中往往把减薄、划片、分片、装片、内引线键合和管壳封装等一系列工艺称为( )。 5、钎焊包括合金烧结、共晶焊;聚合物焊又可分为( )、( )等。 6、金丝球焊的优点是无方向性,键合强度一般( )同类电极系统的楔刀焊接。 7、芯片焊接质量通常进行镜检和( )两项试验。 8、如果热压楔形键合小于引线直径1.5倍或大于3.0倍,其长度小于1.5倍或大于6.0倍,判引线键合( )。 9、钎焊密封工艺主要工艺条件有钎焊气氛控制、温度控制和密封腔体内( )控制。 10、外壳设计包括电性能设计、热性能设计和结构设计三部分,而( )设计也包含在这三部分中间。 11、厚膜混合集成电路的基片种类很多,目前常用的有:氧化铝陶瓷,( ),氮化铝(A1N)陶瓷。 12、微波混合集成电路是指工作频率从300MHz~100kMHz的混合集成电路,可分为分布参数微波混合集成电路和( )微波混合集成电路两类。 13、外延层的迁移率低的因素有原材料纯度( );反应室漏气;外延层的晶体( );系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。 14、离子注入杂质浓度分布中最重要的二个射程参数是( )和( )。 15、二氧化硅的制备方法很多,其中最常用的是高温( )、( )淀积、PECVD淀积。 16、半导体集成电路生产中,元件之间隔离有( )( )( )隔离等三种基本方法. 17、最常用的金属膜制备方法有( )加热蒸发、( )蒸发、( )。 18、热分解化学气相淀积二氧化硅是利用( )化合物,经过热分解反应,在基片表面淀积二氧化硅。 19、杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂,但主要可分为( )扩散和( )扩散两种。 20、半导体材料可根据其性能、晶体结构、结晶程度、化学组成分类。比较通用的则是根据其化学组成可分为( )半导体、( )半导体、固溶半导体三大类。 21、延生长方法比较多,其中主要的有( )外延、( )外延、金属有机化学气相外延、( )外延、原子束外延、固相外延等。 22、气中的一个小尘埃将影响整个芯片的( )性、( )率,并影响其电学性能和( )性,所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。 23、禁带宽度的大小决定着电子从价带跳到导带的难易,一般半导体材料的禁带宽度越宽,所制作的半导体器件中的载流子( )外界因素(如高温和辐射等)的干扰而产生变化。 A.越不容易受 B.越容易受 C.基本不受 24、变容二极管的电容量随( )变化。 A.正偏电流 B.反偏电压 C.结温 25、双极晶体管的1c7r噪声与( )有关。 A.基区宽度 B.外延层厚度 C.表面界面状态 26、半导体分立器件、集成电路对外壳的主要要求之一是:良好的热性能。外壳应有小的( ),使芯片的热量有效地散逸出去,保证器件在正常结温下工作。 A.热阻 B.阻抗 C.结构参数 27、非接触式厚膜电路丝网印刷时,丝网与基片之间有一定的距离,称为间隙,通常为( )。 A.小于0.1mm B.0.5~2.0mm C.大于2.0mm 28、厚膜元件烧结时,浆料中的固体颗粒由接触到结合、自由表面的收l A.准备工具 B.准备模塑料 C.模塑料预热 31、平行缝焊的工艺参数有焊接电流、焊接速度、焊轮压力和焊轮椎顶角。焊轮压力影响盖板和焊环之间高阻点的( )。压力太大,电阻值下降,对形成焊点不利,焊轮压力太小,则造成接触不良,不但形不成良好点。 A.电流值 B.电阻值 C.电压值 32、溅射法是由( )轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅

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