RENA前后清洗工艺培训教材.pptxVIP

Confidential;Confidential;前清洗（制绒）;RENA清洗设备 注：前、后清洗设备外观相同，内部构造和作用原理稍有不同;一、RENA Intex前清洗工艺培训;制绒的目与原理;酸制绒后表面呈蜂窝状，如下图所示。;酸制绒工艺涉及的反应方程式: HNO3+Si=SiO2+NOx↑+H2O SiO2+ 4HF=SiF4+2H2O SiF4+2HF=H2[SiF6] NO2 + H2O = HNO3 + HNO2 Si + HNO2 = SiO2 + NO +H2O HNO3 + NO + H2O = HNO2 ;前清洗工艺步骤： 制绒→碱洗 →酸洗→吹干;Etch bath：刻蚀槽，用于制绒。 所用溶液为HF+HNO3，主要工艺参数： Firstfill volume:480L; Bath processtemperature:7± 2 ℃ concentrations of chemical:HFHNO3; Quality:150.0Kg; Setpoint recirculation flow:140.0L/min; 当药液寿命（Quality）到后，需更换整槽药液。 刻蚀槽的作用： 1.去除硅片表面的机械损伤层； 2