FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法与流程.docxVIP

PAGE PAGE 1 FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法与流程 本创造属于电子通讯装置技术领域，特殊涉及fbar滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法。背景技术：无线通讯终端的多功能化进展对射频器件提出了微型化、高频率、高性能、低功耗、低成本等高技术要求。传统的声表面波滤波器(saw)在2.4ghz以上的高频段插入损耗大，介质滤波器有很好的性能但是体积太大。薄膜体声波谐振器(fbar)技术是近年来随着加工工艺技术水平的提高和现代无线通信技术的快速进展而消灭的一种性能更加优越的射频器件。它具有极高的品质因数q值(1000以上)和可集成于ic芯片上的优点，并能与互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor，cmos)工艺兼容，有效地避开了声表面波谐振器和介质谐振器无法与cmos工艺兼容的缺点。移动通信终端已在全球成功广泛部署。全球每年会生产包括手机和智能手机在内的移动终端设备超过10亿台，而且数量还在逐年增加。随着4g/lte的应用普及，以及移动数据流量的激增，大数据时代也正在推动智能手机市场的增长，估计将来几年将达到每年20亿英镑。在目前新标准和旧标准并存，以及人们对更高数据速率要求的期望，正推动智能手机的射频前端模块功能更加多样简单。但是，传统射频技术目前仍存在局限性，存在问题，