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PAGE PAGE 1 LCOS显示面板及其制作方法与流程 lcos显示面板及其制作方法技术领域1.本创造属于集成电路制造技术领域，具体涉及一种lcos显示面板及其制作方法。背景技术：2.lcos(liquid crystal on silicon)是制作在单晶硅上的lcd新型显示器，是lcd与cmos集成电路有机结合的新兴技术。lcos具有高辨别率、反射式成像、低价格的特点。3.1所示，lcos显示面板包括硅基板01、玻璃基板02以及二者之间周圈分布的框胶03，框胶03留出一注入口o用于注入液晶。硅基板01、玻璃基板02和框胶03围成一个空腔(液晶盒)，盒厚h为空腔的厚度(垂直于硅基板01方向的厚度)，盒厚h亦即注入口o的宽度。注入液晶的方式常接受真空注入和odf注入(one drop filling，滴下式注入)。4.2所示，接受真空注入液晶时，需将lcos显示面板翻转90度，注入口o浸没在装有液晶04的容器中，通过毛细力将液晶04吸入空腔中。lcos显示面板的盒厚h较大(大盒)时，污染物d(异物杂质)在液晶充填时进入空腔的风险大大增加，影响lcos显示面板的品质，降低了良率。在液晶注入前,空腔禁止碰水清洗,避开水气残留在空腔内影响产品寿命，加大了污染物的去除难度。5.一些应用场合，lcos显示面板需注入高黏度液晶，液晶黏度影响毛细力现