第六章-压电式传感器分析PPT课件.ppt

图6-7a 悬臂梁 每个单片产生的电荷和电压为 （2）压电元件的并联和串联 压电材料是有极性的。 并联 串联 第二节 等效电路与测量电路 一、等效电路 压电元件两电极间的压电陶瓷或石英为绝缘体，故可构成一个电容器。 ＋＋＋＋ ―――― q q 电极 压电元件 Ca 电容量计算式： 压电元件受外力作用，两表面产生等量正、负电荷，其开路电压为： 结论：压电传感器可等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的并联电路，如图6－9(a)；也可等效为电压源U和一个电容器Ca的串联电路，如图6－9(b)。其中，Ra为压电元件的漏电阻。 Ca Ra Cc Ri Ci Q 电荷等效电路 Ca Ra Cc Ri Ci U 电压等效电路 注意事项：如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑连接电缆的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。 术语：压电式传感器的灵敏度 电压灵敏度ku：单位力产生的电压； 电荷灵敏度kq：单位力产生的电荷。 二、测量电路 压电式传感器本身的内阻很高(Ra≥1010Ω)，而输出的能量信号又非常微弱，因此它的信号调理电路通常需要一个高输入阻抗的前置放大器。 前置放大器的作用： 一是放大压电元件的微弱信号； 二是阻抗变换（把压电式传感器的高输出阻抗变换成低输出阻抗）。 前置放大器的形式： 一种是电压放大器，其输出电压与输入电压(压电元件的输出电压)成正比； 一种是电荷放大器，其输出电压与传感器的输出电荷成正比。 1、电压放大器 将图6－9b的电压等效电路接到放大倍数为－A的运放，再简化可得电压放大电路。 －A －A Ca Ca Ra Ri Ci Cc C R Ui Uo Uo U (a) (b) Ua 等效电阻R为： 压电元件所受作用力： C=Cc+Ci 等效电容为： Fm——作用力的幅值 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为d33，则在外力作用下，压电元件产生的电压值为 Um——电压幅值 放大器输入端的电压ui，其复数形式为 Ui的幅值Uim为 输入电压与作用力之间的相位差为 ω=0，电压幅值为零，不能用于静态测量。 当ω?∞时，放大器输入端电压幅值为 传感器的电压灵敏度为 结论：因电缆电容及放大器输入电容的存在，灵敏度减小。如果更换电缆，电缆电容变化，灵敏度变化。因此，如果要改变电缆长度，必须重新对灵敏度校正。 ★相对幅频特性计算： 电压放大器特点分析： （1）高频响应好； （2）要扩展低频端，应使时间常数τ增大。但不能靠增加测量回路的电容，电阻的增加也是不容易的。 （3）电缆不能太长，但可设计成一体化传感器，即放大器置入传感器内部。 2、电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，其基本电路如图a所示，CF、RF为反馈电路参数。此处运用导纳运算。 CF、RF等效到A的输入端时，电容CF和电导GF都增大(1＋A)倍。所以图中 －A Ca Uo a）基本电路图 i Ra Q CF RF Ui －A Ga C’F Uo Ui Q Ca Cc Ci Gi G’F b）等效电路图 若再考虑Cc、Ci、Ri，则电荷放大器的等效电路图如b所示。输出电压 讨论： （1）当A足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出。输出电压只决定于输入电荷Q及反馈回路的参数CF和RF。 （2）当工作频率很高（即被测量为高频信号），由于GFωCF,则 可见输出电压Uo与A也无关，只取决于Q和CF。 （3）当工作频率很低(即被测量为低频信号），GF与ωCF相当，此时 电压幅值为 上式表明：输出电压不仅与表面电荷Q有关，并且与参数CF、RF和ω有关，而与开环增益A无关。且ω越小，GF项越重要。当GF＝ωCF时，有 可见这是截止频率点的输出电压，增益下降3dB时对应的下限截止频率为 电压Uo与电荷Q的相位差为 小结： （1）低频时电荷放大器的频率响应仅决定于反馈电路参数RF和CF,其中CF的大小可以由所需要的电压输出幅度决定。所以当给定工作频带下限截止频率fL时,反馈电阻RF值也可确定。如当CF=1000pF,fL=0.16Hz时,则要求RF＞109Ω。 （2）电荷放大器工作频带上限取决于：运算放大器的频率响应；电缆长度（但影响较小）。 （3）电荷放大器允许使用很长电缆，且电容变化不影响灵敏度；但价格高，电路复杂，调整困难。 LC0602电荷放大器 山东理工大学机械学院 第六章 压电式传感器 传 感 器 机械工程学院仪器系 李云雷 Tel:27