说明发表报告pi61line introduction.pptx

1 PI-61 Line Introduction 科室 作成 日期 PI 技术科 邹维尧 2013.3.25 2 一、PI-61整体介绍 二、设备简单介绍 三、提升稼动— — 设备软体更新、工艺参数改进 四、提高良率 — — 品质异常介绍 五、未来展望 目录 3 一、PI-61整体介绍 P：Port（USB BUF、SGB BUF） R：Robot（机器人） T：Turn Stage（旋转平台） T/C：Transmit Conveyor ★：VCR ：线体上BUF PI-61设计产能为30K，到目前为止，单日最高产能为1.2K，可喜可贺！ 4 二、设备简单介绍-PMW ☆ PMW-61（ PI膜涂布前清洗机）简单示意图 通过干式清洗和湿式清洗，将基板表面的有机物去除，风刀对基板的吹干，从而将基板洗净风干后送入下一制程。 5 二、设备简单介绍-IJS ☆ PI膜涂布机示意图 涂布后： 扩散 Head通过TC值精确控制每滴PI液的大小 Camera对位补正 Recipe控制涂布Pattern 涂布出膜面均匀、厚度一致、位置准确的PI膜 6 二、设备简单介绍-IJS ☆ Inkjet 供给23个Head，2列排布，每个Head有256个孔，共计：5888孔 Head Pitch Head 孔：256个（128个×2列） 0.3969mm 7.874mm Head Pitch调整幅度；396.9±10μm Head Orifice示意图 7 二、设备简单介绍-IJS ☆ Head 面检简单介绍 TC值判定标准（Unif)：每个Head孔的最大值、最小值、平均值计算出的值 HD No LOW Unif.(±%) HIGH Unif.(±%) 1 1.90 1.93 Unif在3%以下，孔吐出PI液滴大小均一 8 二、设备简单介绍-IJS ☆ IJS 涂布交换片一系列动作 Head 吐出确认： 1、吐出误报 2、Head 未吐出 吐出误报在操作熟练，警报解除及时，不会耽误产能。 Head 未吐出：Head吐出异常，需要对Head进行间欠拔泡处理。 8 OK 9 二、设备简单介绍-IJS ☆ 吐出确认软件介绍 10 二、设备简单介绍-IJS ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ☆ Head 吐出确认介绍 256孔=2列×2×64孔 A B C D Head 2 B 53 = Head 2 211孔 ※ 通过上述计算可以查看到这个孔的TC值 11 二、设备简单介绍-IJS 12 二、设备简单介绍-IJS IJS Alarm ☆ Head 未吐出作业流程以及损失嫁动时间（单个Head） 吐出确认查看 设备停机 Alarm Reset 开始生产 配管状态升压停止 间欠拔泡一次 间欠拔泡第二次 供给水位调整 吐出确认 OK NG NG OK 15s 15s 70s 65s 150s 共计：315S（熟练能手） 13 二、设备简单介绍-IJS ☆ Head吐出频繁误报警解决方案（以Head 2 B 53 为例） Head吐出异常 PRK 无9°Mura，By Pass 拔泡无用 ① Head吐出分叉，换硬Wipe后擦拭OK 污渍导致吐出异常 ② 清洁外边缘，Head吐出异常降低 ③ ④ 更换药液后吐出异常报警频繁 怀疑开关药液室门动作较大，更换药液Tank时，影响液位，确认供给Tank Sensor低于设计值，调整至现在，此异常无 怀疑 Head 保护槽与Wipe摩擦，导致Wipe表面脏污 吐出异常频率降低，但时高时低 更改Head 2 B53孔TC值，降低5% ⑤ 更改后无报警 ⑥ 14 二、设备简单介绍-IJS ☆ IJS Recipe简单介绍 15 二、设备简单介绍-IJS ☆ 涂布机与印刷机优缺点对比 涂布机（Inkjet — IJS） 印刷机（Coater — PIS） 设备方面 设备轻量化 设备重，厂房设计要求高 附属设备多（AHH、AHW、RNT、台车） 材料方面 NMP使用量少 Roller Wipe更换 Dummy使用量减少 PI液价格昂贵 NMP用量多（APR洗净、A轮清洗） APR版费用高，容易损坏 无尘布使用量多 Dummy使用量多 刮刀更换 操作方面 操作较复杂，培训时间长 操作简单 工作繁重（挂板、洗版、洗A轮） 工艺方面 膜厚调整容易 Pattern 调整容易 不良少，共同缺陷少 涂布后边缘差，精度低 膜厚调整困难 Pattern设计