SAW技术精讲PPT课件.ppt

微声学-声表面波技术;一、概述 二、声表面波器件的原理 三、声表面波器件材料 四、声表面波器件 五、声表面波发展展望 六、参考文献 ; 微波声学简称微声学， 一般是指频率在300兆赫以上的声学。它是研究固体中微波超声的产生、检测、和传播特性、以及与各种微观结构和物理过程的相互作用的学科。早期工作始于上世纪五十年代末。它与电子学、磁学、光学和晶体物理学均有密切的联系。 在固体中传播的声波称为声体波（BAW），在固体表面传播的声波叫作声表面波（SAW）。SAW有瑞利波、乐甫波、拉姆波、电声波、广义瑞利波等 ; 声表面波（SAW）是英国物理学家瑞利（Rayleigh）在1885年研究地震波的过程中偶尔发现的。声表面波是沿物体表面传播，能量集中于表面附近的一种弹性波。;1.2 声表面波传播特性;;1.4 声表面波的技术特点;二、声表面波器件的原理; 声表面波器件的工作原理是，基片左端的换能器（输入换能器）通过逆压电效应将输入的电信号转变成声信号，此声信号沿基片表面传播，最终由基片右边的换能器（输出换能器）将声信号转变成电信号输出。整个声表面波器件的功能是通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理，并利用声电换能器的特性来完成的。;三、声表面波器件材料;目前使用的SAW基片材料主要有： 压电单晶：石英（SiO2）、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂（LiTaO3）、铌酸钾（KNbO3）等，重复性好、可靠性高、传播损耗小 ，一般它们是各向异性材料 ，难以同时满足机电耦合系数高，而温度系数又要小的要求； 压电陶瓷：机电耦合系数最大 ，工作频率受到多晶晶粒大小和晶粒间界状况、内部气孔大小的限制，一般只适宜作低频器件。 压电薄膜：如ZnO ，表面波传播特性由压电薄膜和衬底的特性共同决定，它可以很方便的与半导体电子器件集成为单片器件，使声表面波信号处理器件或传感器与外围电路集成化 ;四、声表面波器件;4.1 声表面波谐振器; 随着通信技术的发展，对信号源的高频化、高准确度和高稳定度提出了越来越高的要求，信号源的设计一般是采用石英晶体谐振器在低频下产生振荡（一般为几兆赫或几十兆赫），然后采用倍频的办法形成高频信号，这样作的优点是石英晶体谐振器的频率稳定度高，缺点是线路复杂，体积大，成本高，同时经过几次倍频之后，相位噪声变大； 采用声表面波谐振器可以直接在GHZ频带产生振荡而形成高频信号，无需倍频，这样简化了线路，缩小了体积，降低了成本，减小了相位噪声，同时提高了可靠性;4.2 声表面波延迟线;因为SAW在基片中的传播速度比电磁波慢 5个数量级，所以SAW延迟线的体积不及同轴延迟线的千分之一。而且 SAW的能量集中在基片表面，所以SAW延迟线可以同时实现多种信号处理功能，应用最多的是滤波和延迟功能结合。 声表面波延迟线是最早实用化且应用最为广泛的一类声表面波器件。它以结构简单、体积小、温度稳定、一致性好的特点在雷达、通信等电子系统中完全取代了电缆延迟线，成为射频、中频段延迟信号的基础器件；同时还大量用在各类传感器组中；它不仅用于雷达、通信等电子设备中作为电信号延迟，还可以作为SAW振荡器的关键元件。;4.3声表面波振荡器; 由于其独特的优越性，声表面波振荡器在现代电子系统和军事装备应用中已成为一种重要的微波频率源。目前应用于SAW传感器的振荡器大致有两种，一种是延迟线型振荡器 另外一种是谐振器型振荡器。 延迟线型振荡器由于本身能够提供足够长的延时,设计相对简单 。一般SAW气体传感器所采用的是延迟线型振荡器 谐振器型振荡器的频率噪声特性优越于延迟线型的振荡器，它具有高质量因子、低损耗、高频率稳定度的特点，被用于液体传感器;4.4 声表面波滤波器;1、声表面波滤波器的尺寸小、重量轻 2、设计灵活性大、性能出色：相位特性和幅度特性可以独立设计，并且有多种加权方式可供选用 3、插入损耗低、带外抑制高：是由于使用的声表面波谐振器具有较高的谐振Q值 4、声表面波滤波器还具有一致性好、适合大规模生产的特点：由于采用类似集成电路的制作工艺，加上声表面波滤波器的结构相对简单，因此具有很好的一致性，产品化的声表面波滤波器在制造过程中几乎不需要调试就能达到各个滤波器产品的性能指标几乎一致 5、价格低：大规模生产使声表面波滤波器的生产成本降低;4.5 声表面波传感器;声表面波传感器分类;声表面波压力传感器;声表面波温度传感器;声表面波加速度传感器;声表面波气体传感器;声表面波气体传感器;声表面波气体传感器;声表面波传感器优点;声表面波传感器优点;声表面波传感器优点; 利用弹性体表面传播的声表面波来截取和处理信号的声表面波技术，自20世纪60年代出现以来，发展十分迅速。声表面波器件具有体积小、质量轻、频率选