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PAGE PAGE 1 装置以及制造该装置的方法与流程 本发明涉及装置以及创造这种装置的办法。更详细地说，本发明涉及具有跨越基板中腔体的起码一部分的层压隔膜的装置，以及创造具有跨越基板中腔体的起码一部分的层压隔膜的装置的办法。背景技术：诸如纳机电系统装置(nems)的装置可以具有在腔体上方悬置的隔膜。隔膜可以由诸如石墨烯的二维材料形成，并且这种nems装置主要因为通常在装置的创造期间的干燥过程期间作用在悬置的二维材料上的大的表面张力而具有低的投降力。此外，因为隔膜的尺寸，特殊是其纳米尺寸的厚度，可能难以全都地实现校准并且实现期望的隔膜张力。除了上述内容以外，具有悬置在腔体上方的隔膜的nems装置的精确?????性和牢靠性可能受到周围环境情形转变的影响。本发明的实施方式的目的是克服或起码缓解现有技术的一个或多个问题。技术实现要素：按照本发明的第一方面，提供了一种装置，包括：基板，在其中具有起码一个腔体；层压隔膜，其安装到基板，其中，层压隔膜跨越腔体的起码一部分，并且其中，层压隔膜包括起码一层柔性材料与起码一层二维材料；以及功能部件，其中，层压隔膜布置为相对于功能部件的位置变形。按照本发明的其次方面，提供了创造装置的办法，该办法包括：形成在其中具有起码一个腔体的基板；将层压隔膜安装到所述基板，使得所述层压隔膜跨越所述腔体的起码一部分，并且