无尘室的特性和管理.pptVIP

无尘室的特性和管理;Ⅰ. Clean Room 特征;何謂Clean Room? ;Clean Room六個原則; 半導體 – 晶片製造、處理, PHOTOLITHOGRAPHY,製造 IC晶片 電子機器 – 磁性 tape、 SHADOW MASK 精密機械 – 火箭零件, 鐘錶,軸承, 儀器 光學機械 - lens, 直接回路mask, print板, film, 精密印刷 醫學 – 特殊手術,通常手術, 特殊治療, 恢復室, 新生兒室, 藥劑室 藥品 – 注射液, 無菌動物, 一般藥品, 調藥 process 食品 –釀造,發酵,乳製品, 食肉加工, 麵糰 農林畜產 – 姑類栽培, 培養成長, 養殖;清淨度;Room;;1. 清淨(clean) : 沒有灰塵與污染物之???淨狀態 2. 清淨度(Cleanness) : 就 空間空氣中包含一定量灰塵與污染物程度而言  通常指, 標示 1ft3體積空氣所包含灰塵數量 3. 清淨等級(Cleanness Class)為了區別清淨室清淨度規定 4. 污染(Contamination) : 指全部導致 工程、產品機能及信賴性缺点之物質 5. 灰塵(Particle) : 清淨室內全部存在灰塵 6. 清淨室(Clean Room) : 清除灰塵管理, 維持乾淨Room 7. 無塵服(Smock, Clean Room Garment) : 為了不讓人員身體上所產生灰塵在清淨室內掉 落所穿衣服。 8. 良率(Yield) : 生產完成產品中良品所佔比率 9. 管理清淨度 : 清淨室使用者在清淨室運作中, 预防產品與其她物污染之管理;10. 清淨室施工完成狀態(As-Built Clean Room) : 清淨室能够正常運轉, 無生產設備, 也沒有 作業人員之狀態 11. 清淨室生產設備完成狀態 (At-Rest Clean Room) : 清淨室設備能够正常運轉, 有生產設 備但沒有作業人員之狀態 12. 清淨室操作狀態(Operational Clean Room) :清淨室設備能够正常運轉, 生產設備能够開始 運作, 也有作業人員之狀態 13. 清淨度Monitoring (Cleanness Monitoring) : 要定时測定/評價 清淨室內特定位置或是 特定空間清淨度 14. 測定點 : 評價清淨室內性能時, 所要測定清淨室空間位置;;;;Clean Room分類;產業用 Clean Room (ICR);產業專用 Clean Room清淨度;生物專用 Clean Room (BCR);生物專用 Clean Room 清淨度;Clean Room方法;亂流方法 Clean Room (Turbulent Flow, 非單一方向氣流);　[ 特徵] - 結構簡單, 設備費用價廉 　- 根据室內結構與設備裝置 , 在天花板設置 Return Box, 在室內設置 Return 風度, 讓 空氣循環 　- 要擴張Room 相對轻易 (但, 在AHU 容量範圍之內) 　- 使用 Clean Bench, 能形成局部高 清淨度 　- 轻易發生渦流或是氣流混亂, 以及會發生污染 particle 在室內循環情況。 ;層流方法 Clean Room (Laminar Flow, 單一方向氣流);層流方法 Clean Room (Laminar Flow, 單一方向氣流);Super Clean Room_1/6;Super Clean Room_2/6;因為Fan Filter Unit採用個別方法垂直層流型 system , 所以沒有設置 為了Return Air 空調機, 只有 FFU, 進行循環, 是一種很經濟 Clean Room方法。為了抑制內部發熱, 要設置Dry coil 來處理。 對於導入外氣, 要另外設置外氣處理專用空調機。控制室內到露點溫、濕度為止之後, 讓 Return Plenum 開始運作。;Super Clean Room_4/6;空氣循環系統以 Local 循環方法, 生產設施 Layout是以 Bay方法, 以這兩種方法情況下 設置 Fan, Filter 與 Cooling Coi 所組合成 Tunnel Module, 這就是能獲得所要 清淨度 與溫濕度方法。 空氣循環動力費用與其她方法比較, 是最少, 不过 維持清淨度,溫濕度機能會稍微降低, 若設置C.T.M話, 則會對移動有困難, 會有 Flexibility問題。空氣循環方法是以 Local循環方法, 所以在各個 Bay所使用藥品會影響鄰近 Bay, 而產生 Cross-c