洁净室维持正压、压差和送排风量关系.pdfVIP

该厂主要由一个 150 m2 的 1000 级洁净室和一个 100m2 的 1 级洁净室组成， 正压设定值为 50Pa，现以其 1 级洁净室为例计算所需新风量。 计算条件 面积 100m2，层高 3m，高架地板下部空间 1m，FFU满布加高架地板系统。 窗 9 扇(1m x 1m)，门 1 扇，每小时开启一次，每次持续 5 秒，风淋室一个，传 递箱一个 (1m3)，工艺排风 1000CMH，整个洁净室气密性良好， 正压设定为 50Pa。 计算过程 1.缝隙泄漏风量 V=(S1+S2)*3600**(△ P)1/2 *1*4*9+*1*2+**2)*3600*50(1/2)* = 4642m3/h 2.开门泄漏风量 Q=S3**(△ P)1/2*t*n *1)*(50 (1/2)**5*1 = 109 m3/h 3.风淋室和传递窗密闭良好，假设无漏风 4.工艺排风量为 1000CMH 控制 50Pa 正压所需的新风量为 4624+109+1000 = 5733 m3/h 若根据表 1 经验值估算，控制 50Pa 正压所需风量为 *100*4+1000= 3120m3/h 取大值 5733 m3/h 实际余压阀显示正压为 65Pa 业主出于节能考虑，要求降低正压至 35Pa。 一、针对 FFU风速进行改善 改善方式： 1、通过中控电脑，调整 FFU马达转速降低 (original: 1,300 rpm) 2、观察洁净室压力值的变化 (original: 65 Pa) 3、持续降低转速直至压力为 45 Pa 4 、记录 FFU最后的转速并观察洁净室压力 二、针对 (MAU)风速进行改善 改善方式： 1、通过中控电脑调整 MAU 马达转速 (original:45Hz) 2、观察洁净室压力值的变化 (original: 45 Pa) 3、持续降低转速直至压力为 35Pa 4 、记录 MAU 最后的转速，并观察洁净室压力 三、最终节能效果 1、降低 FFU转速 (1)FFU转速由 1,300 rpm 降至 1,100 rpm (2)共计可节省 FFU马达耗电： 62 Kw 2、降低 MAU 转速 (1)调节洁净室压力至 35Pa，MAU 负载 由 45 Hz 降至 41 Hz (2)共计可节省 MAU 马达耗电： 4 kW 。 (3)降低洁净室正压同时可减少室外新风 (MA)供应量以节省能源