一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备发明专利.docxVIP

一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备 技术领域 本发明涉及加速器制造领域，特别是涉及一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备。 背景技术 超导腔的整体加工首先需要经过板材的选取、冲压成型、削边而后形成所需的零部件，然后通过焊接形成完整的超导腔体。然而，由于加工过程中会在材料切口表面形成杂质，如果将其焊入将极大影响超导腔的性能，甚至造成加工成型的腔体报废，所以在焊接前必须对各零部件加工面的表面进行化学抛光，除去材料中的杂质后，再将零部件焊接成完整的超导腔体。 化学缓冲抛光是国际上通用的方法，该方法是采用一定比例的氢氟酸、硝酸、磷酸的混合酸液对铌材表面杂质进行剥离，以满足焊接工艺的需要。然而，由于超导腔化学抛光工艺采用的混合酸液具有剧毒和高腐蚀性，因此要求所研制的设备必须充分考虑操作人员的人身和设备安全。 发明内容 针对上述问题，本发明的目的是提供一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备，该设备能够实现超导腔零部件的表面化学抛光，以去除机械加工过程中材料表面的残留杂质，满足超导腔体焊接前的需要。 为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备，其包括：密闭装置、设置在密闭装置内的零部件装载装置、水洗装置、酸洗装置、机械手装置以及计算机控制显示系统；所述密闭装置内设置有等待工位、酸洗工位和水洗工位；所述零部件装载装置用于装载待抛光的各零部件；所述酸洗装置设置在所述酸洗工位，用于根据所述计算机控制显示系统发送的控制信号对所述零部件装载装置内的待抛光零部件进行酸洗操作；所述水洗装置设置在所述水洗工位，用于根据所述计算机控制显示系统发送的水洗控制信号对所述零部件装载装置内的已抛光零部件进行水洗操作；所述机械手装置设置在所述密闭装置内部，用于根据所述计算机控制显示系统发送的控制信号将所述零部件装载装置在所述等待工位、酸洗工位和水洗工位之间移动，完成酸洗操作和水洗操作后将所述零部件装载装置移动到所述等待工位。 进一步的，所述零部件装载装置采用拉篮，所述拉篮由不锈钢骨支撑并在外围包裹聚偏氟乙烯防酸板。 进一步的，所述水洗装置包括水洗槽、喷淋冲洗器和鼓泡发生器；所述水洗槽为开口向上的长方形箱体；所述喷淋冲洗器设置在所述水洗槽上方两侧，由安装在所述水洗槽上方的聚偏氟乙烯管道支架支撑，用于根据所述计算机控制显示系统发送的信号对所述水洗槽中抛光后的零部件进行喷淋冲洗；所述鼓泡发生器设置在所述水洗槽下部，用于根据所述计算机控制显示系统发送的信号对所述水洗槽中抛光后的零部件进行鼓泡冲洗；所述水洗槽一侧上、下部分别设置有进水口和出水口，所述进水口通过进水管路与超纯水系统相连，且所述进水管路上设置有进水阀；所述出水口通过出水管路与中和池相连，且所述出水管路上设置有出水阀；所述进水阀和出水阀均与所述计算机控制显示系统相连。 进一步的，所述喷淋冲洗器采用90度喷淋冲洗器。 进一步的，所述酸洗装置包括：酸洗槽，所述酸洗槽为开口向上的长方形箱体；所述酸洗槽一侧设置有多个液位传感器，各所述液位传感器通过数据线与所述计算机控制显示系统相连；所述酸洗槽另一侧上、下部分别设置有酸液进口和酸液出口；所述酸液进口通过第一混酸管路分别与供酸管路和废酸输送管路相连，且所述第一混酸管路上设置有酸液搅拌阀，所述供酸管路上设置有酸路控制电磁阀，所述废酸输送管路上设置有废酸输送阀；所述酸液出口通过第二混酸管路与废酸输送管路相连，且所述第二混酸管路上设置有出酸阀和输液泵；所述供酸管路和废酸输送管路另一端分别与混酸槽和废酸槽相连；所述废酸输送阀、进酸阀、酸液搅拌阀、出酸阀和输液泵均与所述计算机控制显示系统相连，由所述计算机控制显示系统控制。 进一步的，所述计算机控制显示系统包括参数设置模块、酸液搅拌模块、机械手移动控制模块和状态监测模块；所述参数设置模块用于输入酸洗操作和水洗操作的相关参数，包括零部件抛光的时间、机械手在酸洗工位上下往复运动频率、抛光完毕机械手在酸洗槽上停留时间、机械手在水洗槽中的时间、喷淋、鼓泡时间、清洗次数；所述酸液搅拌模块用于根据设置的酸液搅拌参数对所述酸洗装置内的混合酸液进行搅拌；所述机械手移动控制模块用于根据设定的相关参数控制所述机械手装置带动所述零部件装载装置在等待工位、酸洗工位和水洗工位之间平行或上下移动；所述状态监测模块用于对各部件状态进行监测，当发生异常时进行声光报警。 进一步的，所述机械手装置包括机械手、机械手滑槽、机械手滑轨和伺服电机；所述机械手滑轨固定设置在所述密闭装置上部，所述机械手滑槽与所述机械手滑轨垂直设置；所述机械手上设置有位置传感器，所述位置传感器与所述计算机显示控制系统相连，所述机械手的驱动装置设置在所述机械手滑槽和机械手滑轨内，所述伺服电机分别与所述驱动装置和计算机显示控制系统相连；所述计算机控制