中国石油大学 《传感器原理及应用》 第二章 传感器技术基础.pptVIP

* * 外光电效应，爱因斯坦方程。 * 内光电效应：光电导效应，光胜伏特效应。 * 守恒定律是自然界最基本的定律，它包括质量、能量、动量和电荷量等守恒定律。例如：在流量检测方法中，毕托管流量计、节流式流量计和均速管流量计等都利用了能量守恒定律。 统计法则是利用统计方法把微观系统与宏观系统联系起来的物理法则。奈奎斯特（Nyquist）定理是统计法则在检测技术中应用的一个例子。由统计物理可知，电子热运动的涨落，在电阻的两端产生热噪声的电压波动。利用热噪声电压和绝对温度的关系可以构成热噪声型热敏电阻，从而进行绝对温度的检测。虽然从理论上讲，应用这种热噪声型温度检测方法具有测温范围宽、准确度高（与敏感元件的材料无关）等优点，但热噪声电压 极小，直接测量困难较大。另外有关统计法则在检测技术中应用的理论研究尚深入，因此，基于统计法则的参数检测目前应用还较少。 * 场的定律是关于物质作用的定律，如动力场的运动定律、电磁场的感应定律和光的电磁场的干涉现象等。应用场的定律来检测有关参数，其敏感元件的形状、尺寸等参数决定了检测系统的量程、灵敏度等性能，它具有较大的设计自由度、对材料的限制较小等优点，但体积一般较大，不易集成，环境干扰对敏感元件的输出影响较大。 物质定律是关于各种物质本身内在性质的定律、法则和规律。物质的内在性质通常以这种物质所固有的物理量加以描述，它与物质的材料密切相关。物质的电阻是最常见的物理量之一，由于它易测量，准确度高，在检测技术中经常利用材料的电阻与被测量之间的关系实现参数检测。例如，金属导体以及许多非金属半导体物质在受压、受热、受光照等情况下，表现出其电阻值有明显的变化。根据这一特性，可分别进行压力、温度和光强等参数的测量。基于物质定理的参数检测具有敏感元件体积小、无可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性好、易集成等优点，因此在检测技术中有广阔的应用前景。 * 3dB=20log(1/0.707) * 除了用时间常数τ表示传感器的动态特性外， 在频率响应中也用截止频率来描述传感器的动态特性。所谓截止频率，是指幅值比下降到零频率幅值比的根号二分之一倍时所对应的频率，截止频率反映传感器的响应速度，截止频率越高，传感器的响应越快。 对一阶传感器, 其截止频率为1/τ。 * 传感器输出与输入成线性关系，且相位差也很小， 输出比较真实地反映了输入的变化规律。时间常数τ越小， 频率响应特性越好。因此减小τ可改善传感器的频率特性。 * 传感器存在惯性， 输出不能立即复现输入信号，而是从零开始，按指数规律上升， 最终达到稳态值。理论上传感器的响应只在t趋于无穷大时才达到稳态值，但通常认为t=（3～4）τ时，如当t=4τ时其输出就可达到稳态值的98.2%，可认为已达到稳态。所以， 一阶传感器的时间常数τ越小，响应越快，响应曲线越接近于输入阶跃曲线，即动态误差小。因此，τ值是一阶传感器重要的性能参数。 * * △Rmax1正行程的最大重复性偏差 △Rmax2反行程的最大重复性偏差 y x 0 ⊿Rmax2 ⊿Rmax1 检测时也可选取几个测试点，对应每一点多次从同一方向趋近。 重复性是指传感器在输入按同一方向连续多次变动时所得特性曲线不一致的程度。重复性误差可用正反行程中最大偏差表示： 获得输出值系列yi1，yi2，yi3，…，yin ，算出最大值与最小值之差或3σ作为重复性偏差ΔRi，在几个ΔRi中取出最大值ΔRmax作为重复性误差： 一、传感器的静态特性3、重复性 §2.2 传感器的基本特性 yFS γs=(Δk/k)×100% 由于某种原因，会引起灵敏度变化，产生灵敏度误差。灵敏度误差用相对误差表示，即 因此，传感器输出曲线的斜率就是灵敏度。线性特性的传感器，特性曲线的斜率处处相同，灵敏度k是一常数，与输入量大小无关。 K=Δy/Δx 传感器输出的变化量Δy与引起该变化量的输入变化量Δx之比即为静态灵敏度，表达式为 一、传感器的静态特性4、灵敏度与灵敏度误差 §2.2 传感器的基本特性 分辨力用绝对值表示，用与满量程的百分数表示时称为分辨率。 在传感器输入零点附近的分辨力称为阈值。 分辨力是指传感器能检测到的最小的输入增量。 有些传感器，当输入量连续变化时，输出量只作阶梯变化，则分辨力就是输出量的每个“阶梯”所代表的输入量的大小。 一、传感器的静态特性5、分辨力与阈值 §2.2 传感器的基本特性 测试时先将传感器输出调至零点或某一特定点，相隔4h、8h或一定的工作次数后，再读出输出值，前后两次输出值之差即为稳定性误差。既可用相对误差表示，也可用绝对误差表示。 时间稳定性是指传感器在长时间工作的情况下输出量发生的变化，有时称为长时间工作稳定性或零点漂移。 一、传感器的静态特性 6、时间稳定性（零漂）