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精密与超精密加工技术浅析 制造业是国民经济的支柱产业，随着制造业的快速发展，尤其是先进制造技术的出现，新工艺，新加工方法不断涌现， 精密加工和超精密加工是先进制造技术的重要支柱，也是提高制造技术水平的关键，当前，在制造自动化领域，进行了大量有关计算机辅助技术软件CAD、CAPP、CAM的开发，计算机集成制造技术CIM、生产模式(如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等)，以及清洁生产和绿色制造等研究，代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。 一、精密和超精密加工技术简介 1、精密和超精密加工的体系结构 就先进制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术和制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，可统称为精密工程;后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是提高产品质量的有效方式。两者有密切联系，许多精密和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化则有赖于精密加工才能达到设计要求。 2、精密和超精密加工方法 根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法，可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。 (1)去除加工。又称为分离加工，是从工件上去除一部分材