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2021年单晶硅拉制工安全操作规程撰写人：___________日 期：___________ 2021年单晶硅拉制工安全操作规程 撰写人：___________ 日 期：___________ 第PAGE页共NUMPAGES页 2021年单晶硅拉制工安全操作规程 1．检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀。如果过紧时调节炉膛上的密封圈，紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀，则要更换密封圈。 2．真空泵运转的方向应按规定的方向旋转，否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时，应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉，调整电动机旋转方向。 3．使用扩散泵必须避免油的氧化。 4．封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同时检查炉膛内有没有多余物件。 5．增温前要开冷却水，并检查水是否畅流，以防烧坏设备。 6．运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净。采用水冷却要防止漏水生锈。 7．炉膛内要保持光亮清洁。，工作之后应及时清除氧化物，炉膛应常关闭。炉子不工作时，必须保持真空度，以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。 8．密封圈和橡皮垫，切忌用油和酒精之类擦拭，也不得压得过紧。 9．先开主机箱风扇电动机使风扇转动，风向向上，说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发现相序不对，风扇不转