硅片制备--多晶师硅铸锭炉和单晶炉.pptVIP

1.7液相外延生长法 ;硅单晶的生产方法以直拉法和区熔法为主，世界硅单晶产量，其中70～80% 是直拉法生产，20～30%是区熔和其它方法生产的。 我国目前生产的直拉硅单晶直径普遍水平Φ40～Φ50毫米，Φ75毫米直拉单晶也能生产，但比较少，国外一般直拉硅单晶直径为Φ75～Φ100毫米，特殊的生长Φ220毫米长1.5米的单晶。 ;2 直拉单晶炉结构 ;2.1炉体;炉顶盖：炉顶盖样式也比较多，一般由铸铁制成，主要支撑籽晶轴的提拉和旋转，装有标尺，显示籽晶轴的提拉位置和提拉长度。 坩埚轴（下轴）由不锈钢制成，由双层管组成，通流动水冷却。它通过托杆、托碗支撑石英坩埚中的多晶硅，并且通过旋转、上升和下降调节热系统中坩埚内熔硅的位置使拉晶能顺利进行。 籽晶轴也由不锈钢制成，能够旋转、上升和下降。它的结构和坩埚轴相同，但比坩埚轴长。它主要通过籽晶卡头装卡籽晶，并且边旋转，边向上运动，完成提拉单晶过程。随着单晶炉大型化，提拉行程的增长，近些年出现了以钢丝或铰链做籽晶轴的软轴，这是直拉单晶炉的一项重大改革，使直拉单晶炉结构简单，操作简便，高度降低，籽晶轴行程增长，使直拉单晶炉生产效率大大提高。 光学等直径监测器装在炉膛的光学等直径监测孔上，它象照象机，一组光学镜头对准坩埚中心，硅单晶通过镜头将硅单晶横断面直径的正面影象反射在毛玻璃屏幕上，屏幕上有一个光敏二极管，影象变化作用在光敏二极管上，产生