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膜——基界面结合性能激光划痕检测方法技术优势分析 摘要：提出红外激光划痕准静态测量新方法。在分析传统划痕试验法和激光检测技术研究与应用现状的基础上，进行了激光划痕法的技术优势分析。1 引言膜是表面涂层、表面镀膜和表面改性层的统称。膜技术是提高材料表面性能的重要手段之一，目前广泛用于航空航天、机械制造、电子技术、光学与信息科学以及计算机科学等各个领域。随着膜科学的发展和膜技术的广泛应用，人们对其可靠性和使用寿命提出了越来越高的要求，而膜——基界面结合性能是影响其质量的首要指标和基本条件，在很大程度上决定了其可靠性和使用寿命，也是研究人员在膜层制备过程中极为关注的问题。综观当前国际膜科学发展现状，新型膜材料开发能力强，各种先进的硬质膜、光电膜、磁性膜、LB 膜等日新月异；创立新型成膜技术能力强，各种先进的成膜技术也不断取得重大进展。尽管膜基界面结合性能在膜层制备和应用过程中起着关键性的甚至决定性的作用，但是在膜层测控技术上愈显薄弱，特别是至今仍未建立定量测定膜——基界面结合强度的科学方法。这种“二强一弱”的发展局面严重束缚了膜科学的发展。如何定量表征界面结合性能已成为各国科学家致力解决的世界性难题。目前已经提出的检测膜——基界面结合性能的方法有激光层裂法、划痕法、压痕法、界面压入法等计355种之多。这些方法在理论分析和测量技术上都存在有待进一步解决的问题，具体表现在同一种方法测量数据不