利用高精度光纤间距传感器进行机床监控.docVIP

利用高精度光纤间距传感器进行机床监控 想要经济地处理能源和资源问题，机床和设备就必须在连续的使用过程中被监控。为此，一种易于集成的传感器技术便成为及时进行机床和设备维护保养，保证产品生产质量，避免停机故障和改善生产过程稳定性的关键因素。 高精度的生产过程监控需要直接来自生产过程的数据作为保障，这些数据应该由那些安装在机床设备上的传感器来提供。而负责这种检测监控任务的传感器大多数都是光纤传感器，即有着极高检测精度得微型化光纤传感器，使其能够方便得集成在机床、设备和检测仪器中，能够很好得完成监控和数据传输的任务。 基于光纤的光缆外径只有0.4～3mm的 传感器适合在高精度的机床加工中使用 利用由Fraunhofer IPT研究所研发设计的间距检测传感器，能够在多个不同的检测位置同时完成对被加工零件的形状和位置误差的纳米级精度检测。这种技术在航空航天、汽车制造、印刷机械制造和光学设备制造领域中都能够得到很好的应用。 这种检测技术适合于那些传统检测解决方案因安装使用空间有限，以及传统检测技术无法满足检测精度的场合。这种传感器的检测频率很高，检测误差明显的小于高精度检测仪，能够实现机床和设备在超精密级范围内的在线检测，如机床运动轴和导轨移动的监控以及传动轴的监控。 Fraunhofer研究所研发的这种检测系统基于短波激光干涉原理，主要由两个相干性激光部件组成（图1）。其中的第一个是