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硅片制备--多晶硅单铸锭炉和单晶炉2.pptVIP

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  • 2021-12-06 发布于福建
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硅片制备--多晶硅单铸锭炉和单晶炉2.ppt

    ;DSS炉;操作原理 ;;炉子的操作 ;打开腔室 提升下面腔室的控制屏幕 取出长晶后的硅锭 加入新的硅料 安全的装上石墨板和螺栓 运行一个自动循环 ;

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