SEM和EDS的现代分析测试方法.ppt

第七节 SEM的应用 一. 在金属材料方面的应用 二. 在高分子材料方面的应用 三. 在石油、地质、矿物方面的应用 四. 在半导体器件及集成电路方面的应用 五. 在生物医学上的应用 第二十九页，编辑于星期三：一点 十一分。 材料的现代分析测试方法   第一页，编辑于星期三：一点 十一分。 材料的现代分析测试方法第一章 扫描电子显微镜(SEM)第一节 概述 第二页，编辑于星期三：一点 十一分。 第二节　电子束与固体样品　　　　相互作用 第三页，编辑于星期三：一点 十一分。 一．背散射电子 二．二次电子 三．吸收电子 四．透射电子 第四页，编辑于星期三：一点 十一分。 五．特征Ｘ射线 六．俄歇电子 七．阴极荧光 八．电子束感生电效应 　１．电子束感生电导信号 　２．电子束感生电压信号 第五页，编辑于星期三：一点 十一分。 第六页，编辑于星期三：一点 十一分。 第三节 SEM工作原理 第七页，编辑于星期三：一点 十一分。 第四节 SEM的构造 第八页，编辑于星期三：一点 十一分。 一. 电子光学系统 组成: 电子枪, 电磁聚光镜, 光阑, 样品室等. 作用: 用来获得扫描电子束, 作为 使样品产生各种物理信号的 激发源. 第九页，编辑于星期三：一点 十一分。 1. 电子枪 2. 聚光镜(电磁透镜) 3. 光阑 4. 样品室 第十页，编辑于星期三：一点 十一分。 用于SEM的电子枪有两种类型 热电子发射型: 普通热阴极三极电子枪 六硼化镧阴极电子枪 场发射电子枪: 冷场发射型电子枪 热场发射型电子枪 第十一页，编辑于星期三：一点 十一分。 几种类型电子枪性能 第十二页，编辑于星期三：一点 十一分。 二. 扫描系统 组成: 扫描信号发生器、放大控制器等 电子学线路和相应的扫描线圈。 作用: 提供入射电子束在样品表面上以 及阴极射线管电子束在荧光屏上 的同步扫描信号; 改变入射电子 束在样品表面扫描振幅，以获得 所需放大倍数的扫描像。 第十三页，编辑于星期三：一点 十一分。 三. 信号检测放大系统 作用：检测样品在入射电子束作 用下产生的物理信号，然 后经视频放大，作为显象 系统的调制信号。 第十四页，编辑于星期三：一点 十一分。 检测器类型 1. 电子检测器：由闪烁体、光导管和光电倍增器组成。 2. 阴极荧光检测器：由光导管、光电倍增器组成。 3. X射线检测系统：由谱仪和检测器两部分组成。 第十五页，编辑于星期三：一点 十一分。 四. 图象显示和记录系统 组成：显示器、照相机、打印机 等。 作用：把信号检测系统输出的调 制信号转换为在阴极射线 管荧光屏上显示的样品表 面某种特征的扫描图象， 供观察或照相记录。 第十六页，编辑于星期三：一点 十一分。 五. 电源系统 组成：稳压、稳流及相应的安全 保护电路等。 作用：提供扫描电子显微镜各部 分所需要的电源。 第十七页，编辑于星期三：一点 十一分。 六. 真空系统 组成：机械泵、扩散泵、电磁阀 及相应的真空管路等。 作用：建立能确保电子光学系统 正常工作、防止样品污染 所必须的真空度。 第十八页，编辑于星期三：一点 十一分。 第五节 SEM的主要性能一. 分辨率 分辨率的主要决定因素: 1. 电子束斑直径 2. 入射电子束在样品中的扩展效应 3. 信噪比 第十九页，编辑于星期三：一点 十一分。 漫散射 漫散射的深度与原子序数有关 第二十页，编辑于星期三：一点 十一分。 二. 放大倍数 显微镜的放大倍数: 象与物大小之比 TEM和OM: M总=M１M２……Ｍｎ 式中： M１……Ｍｎ——各个透镜的放大倍数 n ——透镜数目 第二十一页，编辑于星期三：一点 十一分。 SEM中透镜的作用： 缩小电子束交叉斑 总的缩小倍数： M 缩小=(1/ M１)·(1/ M2)…… (1/ Mn) SEM图象放大倍数: