微电子元件的微型化.docVIP

微电子元件的微型化 微电子元件制造商利用激光来提高技术水平。 便携性是计算机领域的工业标准。现在，消费电子产品，如笔记本电脑、PDA和MP3播放器随处可见。随着人们对于小型化，更大的存储器容量，更快的处理速度，数字资料更好的可视化性能，和更好的通信能力的要求不断增长，微电子工业的技术也呈指数式提高。 所取得的许多进展是由于工业生产制造量的提高以及磁盘和芯片空间更有效的利用。然而，如果没有那些促使微电子元件制造商使用先进光学技术取代许多电学、机械以及化学工艺过程的突破性发展，这些进展也不可能发生。不妨考虑一个典型的笔记本电脑（如图1）。事实上，目前每个元件的制造都至少受益于一项激光应用，激光技术改变了这些元件的生产方式。 微电子设计的两个主要标准是生产更快、更小的元件。对于在加工过程中使用的激光器来说，要得到更高的生产量就必须提高脉冲的重复频率，要得到更小的特征尺寸就必须有更小的光斑大小（即更短的波长）。固态激光器的发展致力于满足这些要求，它对微电子工业产生了巨大的影响，其应用范围包括了计量学、存储器修复、电路微调、钻孔、硬盘纹理加工和子部件标记。光是平板显示器（FPD）的生产就包括了几项激光器应用，包括激光退火，玻璃分离和打标。调Q二极管泵浦固态（DPSS）激光器已经成为在许多应用方面的工业