OLED的失效分析-优质课件.pptVIP

针对以上发现，建议采取以下方式来控制电极引线腐蚀的发生： (1)光刻工艺中残留的氯离子会造成Cr的钝化膜破坏以 及加速ITO的腐蚀。建议优化清洗工艺，降低残留 含量。 (2)防止电极引线腐蚀的发生，关键是要控制Cr镀层的 腐蚀。建议在电极部分整个涂附一层保护膜，防止 Cr与吸附液体发生电化学反应。 4.1 总结 通过实验讨论，本文得到如下结论: 1. 通过对OLED发光面积退化规律的研究，发现水汽和氧气对器件面积退化速率有很大的影响。在有水汽的情况下，通电会导致水分解产生气体将阴极金属层顶起，同时为局部过热导致的熔融态有机物流动提供了空间。未通电区域则可能发生有机物的结晶，也会影响器件发光性能。氧气则会氧化阴极材料和有机层，导致不发光区域的产生。 2. NK多功能薄膜分析仪为OLED的失效分析提供了一种新的方法，能快速无损地从器件结构和材料性质的角度对器件进行失效分析，测量膜的均匀性等。该方法还可应用于大规模的生产检测。对结构为ITO/NPB/Alq3/LiF的器件，其失效主要是Alq3层和LIF层发生变化。 4.1 总结 3. 通过对镀Cr的ITO电极引线腐蚀产物的分析发现，腐蚀是由电极引线的结构特点引起的，腐蚀过程中Cr在不同电位下反应生成Cr(OH)3或CrO3。Cr镀层溶解后，ITO随后发生腐蚀;氯离子对ITO的腐蚀有促进作用。 空