TFT-LCD阵列工艺介绍.pptVIP

TFT-LCD阵列工艺介绍;主要内容; 一、TFT-LCD的基本构造;图2 液晶盒的构造;二、ARRAY工艺介绍;2.1 阵列基板的构造和功能;;1、我们的市场行为主要的导向因素，第一个是市场需求的导向，第二个是技术进步的导向，第三大导向是竞争对手的行为导向。 2、市场销售中最重要的字就是“问”。 3、现今，每个人都在谈论着创意，坦白讲，我害怕我们会假创意之名犯下一切过失。 4、在购买时，你可以用任何语言；但在销售时，你必须使用购买者的语言。 5、市场营销观念：目标市场，顾客需求，协调市场营销，通过满足消费者需求来创造利润。**** 6、我就像一个厨师，喜欢品尝食物。如果不好吃，我就不要它。***** 7、我总是站在顾客的角度看待即将推出的产品或服务，因为我就是顾客。*** 8、利人为利已的根基，市场营销上老是为自己着想，而不顾及到他人，他人也不会顾及你。**** ;2.1 阵列基板的构造和功能;图6 TFT器件的基本构造;当Vg≤Vth时 Ids=0 当VgVth且VdsVg-Vth时 Ids=(W/L)?μC0{(Vg-Vth)Vds-Vds2/2} 当VgVth且VdsVg-Vth时 Ids=(W/L)?μC0(Vg-Vth)2/2 式中，Vth:阈值电压 μ：电子迁移率 C0: 单位面积栅绝缘层电容;2.2 阵列基板的制造原理;工艺名称;图8 初始放电和自续放电示意图;PCVD原理;PR?曝光原理;曝光原理;湿刻原理;反应气体在高频电场作用下发生等离子体（PLASMA）放电。 等离子体与基板发生作用将没有被光刻胶掩蔽的薄膜刻蚀掉。;;4mask;三、阵列检查介绍;工程;?装置原理;Macro検査 　移动Array基板、改变照明方式、从不同的角度目視検査基板。;3.2 尺寸测定;3.3 PR形状测定;3.4 自动外观;D 检Flow　　;;①画像取得;3.5 ELP测定;检测原理： 光线经过透明薄膜表面进行反射时，由于光线在薄膜上下表面均产生反射，因此反射光产生光程差Δ（图1所示）。当入射光为线偏光时，反射光为椭偏光。根据光线反射前后偏振状态的改变，可以测量薄膜的光学参数和膜厚，这种方法叫做Ellipsometry法（椭圆偏光解析法）。;工程;Gate Etching 剥离完了;;;目的：测量ＴＦＴ像素特性的測定装置; 谢 谢！