第八章X射线光电子能谱(XPS).pptVIP

第八章： X 射线光电子谱 (XPS) X-ray Photoelectron Spectroscopy 第一节、光电子能谱简介 1. 电子能谱分析法是采用单色光源（如 X 射线、紫外光）或电 子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然 后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获 得有关信息的一类分析方法。电子能谱是固体表面分析的 主要方法之一。 2. 常用的光电子能谱法根据使用的激发光源不同分为以下三 种： X 射线光电子能谱 (X-Ray Photoelectron Spectrometer XPS) 紫外光电子能谱 (Ultraviolet Photoelectron Spectrometer ， UPS) 俄歇电子能谱 (Auger Electron Spectrometer ， AES) 3. 俄歇电子能谱法 (AES) 是用具有一定能量的电子束 ( 或 X 射 线 ) 激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度， 从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。 4. X 射线光电子能谱法（ XPS ），采用能量为 1000~1500eV 的 X 射线源，能激发内层电子 , 使物质光电离、光电子发 射，研究其激发过程及其能量关系，各种元素内层电子的 结合能是有特征性的，因此可以用来鉴别化学元素。又称 为化学分析用电子能谱法（ ESCA ）。 5. 紫外光电子能谱 (UPS) 是以紫外光为激发源致样品光电离 而获得的光电子能谱。目前采用的光源为光子能量小于 100eV 的真空紫外光源 ( 常用 He 、 Ne 等气体放电中的共振 线 ) 。这个能量范围的光子只能激发样品中原子、分子的 外层价电子或固体的价带电子，从而获得相关的 价电子和 能带结构的特征 关系 。 XPS 技术发展历史 ? X 射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能 探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状 态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛 地应用。 ? X 射线光电子能谱是瑞典 Uppsala 大学 K.Siegbahn 及 其同事经过近 20 年的潜心研究而建立的一种分析方法。 他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子 能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨 道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。 第二节、光电子能谱原理 能量关系可表示： hv ? E b ? E k ? E r 电子结合能 原子的反冲能量 电子动能 E 1 r ? 2 ? M ? m ? ? * 2 a 忽略 E r (0.1eV ）得 hv ? E k ? E b 对孤立原子或分子， E b 就是把电子从所在轨道移到真空需 的能量，是以真空能级为能量零点的。 hv ? E k ? E b ? ? 功函数 (Fermi) 能级 E b 的参考点。 固体能带中充 满电子的最高能级 对固体样品，必须 考虑晶体势场和表 面势场对光电子的 束缚作用，通常选 取费米 为 X-ray Beam Electrons are extracted only from a narrow solid angle. X-ray penetration depth ~1 m m. Electrons can be excited in this entire volume. 10 nm 1 mm 2 X-ray excitation area ~1x1 cm 2 . Electrons are emitted from this entire area 光电效应 （ Photoelectric Process ） 光： Incident X-ray 发射出的光电子 Ejected Photoelectron Free Electron Level Fermi Level Conduction Band Valence Band 2p 2s 1s L2,L3 L1 K 1 电磁波使内层电子激发，并逸出表面成为光电子，测量被 激发的电子能量就得到 XPS ， 不同元素种类、不同元素价态、不同电子层 (1s, 2s, 2p 等 ) 所产生的 XPS 不同。 2 被激发的电子能量可用下式表示： KE = hv - BE - ? spec 式中 hv= 入射光子（ X 射线）能量 BE= 电子键能或结合能、电离能 KE = 电子动能 （ Kinetic Energy ） ? spec = 谱学功函数或电子反冲能 （ Spectrometer Work Function ） 谱学功函数极小，可略去， 得到 KE = hv - BE 3 元素不同，其特征的电子键能不同。测量电子动能 KE ， 就得到对应每种元素的一系列