MEMS产品市场结构、应用领域及相关厂商梳理.docx

PAGE PAGE 10 声学 MEMS 或迎新一轮增长，压力与光学 MEMS 拓展平行赛道 1 MEMS 传感器应用领域广泛，核心零部件加工难度较高 MEMS 传感器是使用最广泛的MEMS 产品，包括惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器等多种传感器产品。MEMS（Micro Electro Mechanical System）简称微机电系统，是在芯片上把微机械和微电路集成于一体的系统，MEMS 产品主要可以分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。MEMS 传感器是一种检测装置，能够将感受到的信息按一定规律变换成电信号或其他形式的信息输出，以满足系统对信息传输