固态电子学 俄歇电子能谱.ppt

俄歇电子能谱(AES ) ;俄歇电子能谱 一、原理 1、俄歇效应 2、俄歇电子的能量 3、俄歇电流及其影响因素 二、应用 1、特点 2、用途 3、局限性 4、与其它技术的对照 三、仪器 1、超高真空 2、激发源; 2、激发源 3、电子能量分析器 4、锁相放大器 四、俄歇电子谱的测量 1、直接谱 2、微分谱 3、二次电子能量分布曲线 五、俄歇电子谱的应用 1、定性分析 2、定量分析 3、化学效应分析 4、扫描俄歇显微分析;俄歇探针能谱仪;扫描俄歇探针能谱仪;扫描俄歇微探针能谱仪;场发射扫描俄歇纳米探针;俄歇电子能谱AES 俄歇电子能谱术(Auger Electron Spectroscopy)是利用高能电子束激发分析区原子发射出俄歇电子的表面分析技术. ;一、基本原理 用一定能量的电子束(一般为电子源)激发样品，使样品原子内层电子电离，产生无辐射俄歇跃迁。 ;(1)辐射跃迁，发射X射线，此过程可表为 A+*→A++hν;2、俄歇电子的能量 俄歇电子的能量特点与原子的原子序数有关 俄歇电子能谱中我们可以知道： ;种类 根据电子能量谱中俄歇峰位置所对应的俄歇电子能量，就可以鉴定表面存在的元素种类 定量 俄歇信号强度，可以确定表面各元素的含量。 化学态 根据俄歇峰能量位移和线形变化，可以取得固体表面化学态的信息。;锰;3、俄歇电流及其影响因素 俄歇电流大小是俄歇定量分析的依据。 俄歇电流主要由电离截面σ，俄歇跃迁几率 Pa ，平均自由程和平均逸出深度决定。 作为分析信息的俄歇电子只能是能量无损地从固体内部的产生处输运到表面的电子。;二、应用 1、特点 (1)表面灵敏度高 (2)元素分析范围广 (3) 横向分辨率高，可达15nm； (4) 可进行组分的三维剖析 (5)化学态信息丰富 (6)分析时间短 ;2、用途 （1）元素的鉴别 （2）元素沿深度分布分析 （3）元素化学状态 ;3、局限性 (1)灵敏度低 (2)定量困难 (3)表面损伤 (4)表面电荷 (5)平均自由程小 ;4. 三种最基本的表面分析方法 名称 俄歇电子能谱 X射线光电子能谱 二次离子质谱 AES XPS SIMS 一次束 电子 X射线 离子 检测粒子 俄歇电子 光电子 二次离子 特点 定量较好 带有化学位移信息 检测灵敏度高 分辨率高 表面损伤小 ppb 缺点 轻元素不能分析 分辨差 表面损伤 （X射线不易聚焦） 定量困难 共同点：元素种类分析（成分分析、痕量分析）、表面分析 ;三、仪器 俄歇电子能谱仪是测量俄歇电子及其能量分布的装置。包括：激发源，样品台及样品传送装置，电子能量分析器，信号采集、数据处理和显示系统。; 为使工作正常进行，上述部分部件必须在超高真空条件下运转，为此必须配置适当的真空系统。 目前谱仪大多实现了计算机在线控制，谱仪的工作已实现了计算机化。;;(1) 电子源 电子源目前有两种： 热电子发射源和场发射电子源。 ;(2) 电子枪 电子枪和能量分析器之间的位置配置有两种。同轴配置和非同轴配置。 电子枪的性能指标有电子束径、束流强度和束流能量。 ;3、电子能量分析器 电子能量分析器是俄歇谱仪的核心部分，用以测量俄歇电子的动能。 目前俄歇谱仪使用的静电偏转型分析器主要有三种：筒镜型分析器、半球型分析器和阻滞场型分析器。;筒镜型分析器（CMA）;;4、锁相放大器;四、俄歇电子谱的测量 俄歇电子谱是俄歇电子信号 N(E) 随其动能 E 的分布。 主要有两种表示方式，即直接谱和微分谱。; 1、直接谱 直接谱测量方法有两种： 直接测量法， 脉冲记数法 ; 2、微分谱 微分法是用能量调制法来实现的，即在分析器外圆筒上，在扫描电压 V