材料测试方法-扫描电镜SEM详解.ppt

由于透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的程度。能否直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。经过努力，这种想法已成为现实-----扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy, SEM)。;;图片来源：深圳柯西数据公司;JSM-6301F场发射枪扫描电镜;图片来源：深圳柯西数据公司;SEM image (beetle);编辑课件;扫描电子显微镜;扫描电镜的优点是: 1、有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 2、有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构； 3、试样制备简单； 4、可同时进行显微形貌观察和微区成分分析。; 扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年制造出了第一台商品扫描电镜。自其问世以来，得到了迅速的发展，种类不断增多，性能日益提高，并且已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。;