瑞思杰尔 RSG150P（mini型）一体机产品说明书.pdf

常州瑞思杰尔电子科技有限公司 操作手册 RSG150P 射频电源 设备标识： 联系方式 公司地址：江苏省常州市新北区高新科技园2 号楼A307 公司网站： 电子邮箱：rishige@163.com 电话：0519 传真：0519 技术支持：0519 0 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 目 录 一 产品概述. ………………………………………………………2 二 技术指标. ………………………………………………………2 三 设备电路原理图. ………………………………………………2 四 设备空间尺寸. …………………………………………………3 五. 控制接口信号定义 ………………………………………4 六 设备接线说明. …………………………………………………5 七 设备常见故障排除. ……………………………………………6 八 设备日常维护. …………………………………………………6 九 产品执行标准. …………………………………………………6 一． 简要概述 1 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 RSG150P 射频电源产品广泛应用于等离子清洗、蚀刻、射频溅射、ICP、CVD、PVD 以及激光等领域。可替代电子管电源以提高可靠性，也可替代进口射频电源，降低系统设备 的成本。该产品有以下特点： ● 设备采用全固态、风冷设计，小尺寸、长寿命。 ● 经过特殊设计的功率采样电路能够在整个动态范围内精确地测量出正向和反向功 率，使显示的精确度达到一个很高的水平。 ● 结合具有专利技术的功率闭环控制电路，电源输出非常稳定。即使在运行中负载阻 抗有小范围的波动，电源的输出也能够快速跟随用户的设定值，保证了工艺流程的 稳定性和重复性。 ● 设备具有过流、过压、过热，反射过大四种故障保护。 二 技术指标. 设备供电：AC200-250V，50Hz ，3A 输出额定功率：150W （50Ω） 输出频率：13.56MHz±0.005% 输出功率调节范围：0-150W 功率设定和实际输出误差:2W （50Ω） 输出功率稳定度：±1% 冷却方式：强制风冷 故障保护：过流、过压、过热、反射过大。 二次谐波输出：≦-40dB ,寄生调制≦%1 射频输出端口：L16K(N) 产品重量： 2.8kg 三 设备电路原理图. 2 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 四 设备空间尺寸. 设备在安装时四周通风孔距离控制箱体的距离要保证大于5Cm，以保证有足够的进风 量供射频电源散热，并在通电前确认匹配器、负载与射频源之间已可靠连接，否则可能会造 成射频源散热不良及反射功率太大而损坏功率器件！！！ 3 常州瑞思杰尔电子科技有限公司