精华资料sem扫描电子显微镜与电子探针.pptxVIP

会计学;一、简介;与普通显微镜的差别：;学习的重要性： ▲,是形貌分析的重要手段 ▲,二次电子象在其它分析仪器中的应用 ▲,基本物理概念、仪器参数及基本单元的通用性,;二、基本物理概念 (一),电子与表面相互作用及与之相关的分析技术 (二),信息深度 (三),电子作为探束的分析技术特点 ;(一)电子与表面相互作用及与之相关的分析技术 1．信息种类及相应的分析技术： △ 背散射：经弹性散射或一次非弹性散射后 以θ 90°射出表面， E～Ep △ 特征能量损失 ?? 多次散射后射出－形成本底 △ 在样品中停止，变为吸收电流 △ 从样品透射 (TEM); △ 二次电子：外层价电子激发 (SEM) △ 俄歇电子：内层电子激发 (AES) △ 特征X射线：内层电子激发 (EPMA) △ 连续X射线：轫致辐射(本底） 对于半导体材料： △ 阴极荧光 △ 电子束感生电流 ;2．检测电子的能量分布;(二),信息深度 ,,,,△,非弹性散射平均自由程： ,,,,,,,,,具有一定能量的电子连续发生两次非弹性碰撞 ,,,,,,,之间所经过的距离的平均值。 ,,,,△,衰减长度：I,=,Ioe－t/λ ,,,,,当电子穿过t,=,λ厚的覆盖层后，它的强度 ,,,将衰减为原来的1/e,称λ为衰减长度。 △,通常近似地把衰减长度λ当作电子的非弹性散射平均,自由程，亦称为逸出深度。 △,衰减长度和电子能量的关系： ,,,实验结果： ,,,,经验公式：λ=,(Ai/E2)+BiE1/2 ,,,,,其中A、B对于不同的元素及化合物,有不同的值. ;△,信息深度：信号电子所携带的信息来自多厚的表面层？,, ,,,,,,,,,,,,,通常用出射电子的逃逸深度来估计。 ,,但是当出射电子以同表面垂直方向成θ角射出时，电子所反映的信息深度应该是： ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,d,=λcosθ ,,△,激发深度与信息深度：;在扫描电镜中，由电子激发产生的主要信号的信息深度： ,,俄歇电子,,,,,1,nm,(0.5-2,nm) ,,二次电子,,,,,5-50,nm ,,背散射电子,,,50-500,nm ,,X射线,,,,,,,0.1-1μm;,,产生大量二次电子，,,,,产生少量二次电子， ,,,,信噪比差,,,,,,,,,,,,,,信噪比好 ; 1．放大倍数 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系： (若荧光屏画面面积为10×10cm2) 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2 ;2．分辨率,,? ,,,,,样品上可以分辨的两个邻近的质点或线条间的距离。 ,,,,,如何测量：拍摄图象上，亮区间最小暗间隙宽度 ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,除以放大倍数。 ,,,,影响分辨率的主要因素： ,,,,△,初级束斑：分辨率不可能小于初级束斑 ,,,,△,入射电子在样品中的散射效应 ,,,,△,对比度 ;3．景深 ,△,一般景深的定义： ;△ SEM的景深： 对于SEM，虽没有实际的成象透镜，但景深的意义是相同的。 在D深度范围内，中心处为最佳聚焦 当dp 最小可分辨时，在D深度范围内均可清晰成象。 dp / 2 = Dαo/ 2 D = dp / αo αo一般为1mrad 故：景深为最小可分辨的1000倍; 四、工作模式与衬度原理 (一)二次电子象 (二)背散射电子象 (三)二次电子象与背散射电子象的比较 工作模式：依赖于用哪种物理量来调制显象管 △ 二次电子象模式 △ 背散射电子象模式 衬度： (对比度，是得到图象的最基本要