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第1页，共24页，编辑于2022年，星期五 飞秒激光微纳加工 第2页，共24页，编辑于2022年，星期五 双光子聚合加工 双光子吸收采用具有超短和超强特性的飞秒激光作为光源 具有两方面的新颖特性: ①双光子吸收是长波吸收短波发射的过程,激发光对介质穿透率高,可有效地减少介质对激发光吸收等过程的耗散和破坏,并能用可见光或近红外光来激励那些原本需要远紫外光才能激发的体系 ②由于材料的双光子吸收与激发光强的平方密切相关,因而在紧密聚焦的条件下,双光子吸收仅局限在物镜焦点处空间体积约为λ3 (λ为入射光波长)的小范围空间内 第3页，共24页，编辑于2022年，星期五 第4页，共24页，编辑于2022年，星期五 为何能突破衍射极限 光强依赖性 双光子聚合明显的阈值性 聚焦后的激光强度在空间上呈高斯或类高斯分布 第5页，共24页，编辑于2022年，星期五 双光子聚合加工系统 第6页，共24页，编辑于2022年，星期五 加工系统：锁模钛宝石飞秒振荡器,脉宽150fs,中心波长780nm,重复频率76MHz. 激光由一个数值孔径NA = 1. 4 的物镜聚焦. 实验所用的树脂(型号为SCR500,由日本的JSR公司生产),该树脂对近红外波长是透明的,允许钛宝石激光入射到树脂深处 纳米牛尺度：长10μm,高7μm，最细微部分的尺寸为120nm，是目前世界上人工制作的最小动物模型。它的大小和人体红血球差不多 双光子聚合加工的应用 第7页，共24页，编辑于2022年，星期五 加工原理示意 第8页，共24页，编辑于2022年，星期五 制备纳米颗粒 利用溶胶- 凝胶方法产生掺金(Au)离子SiO2 /TiO2 玻璃薄膜, 对之进行双光子吸收操作后形成了金纳米颗粒阵列 掺钛( Ti)离子的光聚合树脂( urethane acrylate)进行双光子聚合,在聚合物结构上产生了TiO2 纳米颗 第9页，共24页，编辑于2022年，星期五 高密度存储 原理一 掺杂sp iropyran分子的聚甲基丙烯酸甲酯( PM2MA) 是一种光反应变色材料， 通过双光子吸收过程在样品中产生折射率的改变，从而实现高质量的微结构。 光反应变色材料的最大特点在于其光学可逆性，利用光学辐照，可以使反应后的产物重新恢复到反应前的状态，所以这种材料在可擦写光学信息存储、波导写入等领域具有巨大的应用潜力 第10页，共24页，编辑于2022年，星期五 第11页，共24页，编辑于2022年，星期五 高密度存储 原理二 利用双光子吸收和共焦原理，三维光学高密信息存储技术可实现在直径120 mm、厚度10 mm 的光盘上存储200 GB 的数据,用并行方法读出,速度达Gbit/ s 共焦光学系统具有三维分层扫描成像能力，有效地避免邻层的干扰，并且与CD 播放机有极好的兼容性，成为重要的三维光学数据读出方法 第12页，共24页，编辑于2022年，星期五 第13页，共24页，编辑于2022年，星期五 第14页，共24页，编辑于2022年，星期五 泵浦源输出波长为532nm 的连续光；飞秒激光器为钛-蓝宝石飞秒激光器，在4.2W 泵浦源的条件下，稳定输出功率为560mW，频率为82MHz，波长为796nm，飞秒激光脉宽约30fs，单脉冲能量约8nJ。796nm 红外飞秒激光经过倍频器(BBO)后波长变为398nm 的紫 外光，倍频器的输出功率为100mW。 国内的应用研究 第15页，共24页，编辑于2022年，星期五 第16页，共24页，编辑于2022年，星期五 第17页，共24页，编辑于2022年，星期五