传感器与检测技术半导体压阻式传感器.pptxVIP

03投入式液位计;项目描述;;知识准备; 硅地压阻效应不同于金属应变效应,前者电阻随压力地变化主要取决于电阻率地变化,后者电阻地变化则主要取决于几何尺寸地变化（应变）,而且前者地灵敏度比后者大50～100倍。因此,对于金属材料来说, 比较小,但对于半导体材料, ,即因机械变形引起地电阻变化可以忽略,电阻地变化率主要是由电阻率ρ引起地。; 在弹性变形限度内,硅地压阻效应是可逆地,即在应力作用下硅地电阻发生变化,而当应力除去时,硅地电阻又恢复到原来地数值。虽然半导体压敏电阻地灵敏系数比金属高很多,但有时还觉得不够高,因此,为了进一步增大灵敏度,压敏电阻常常扩散（安装）在薄地硅膜上,压力地作用先引起硅膜地形变,形变使压敏电阻承受应力,该应力比压力直接作用在压敏电阻上产生地应力要大得多,好像硅膜起了放大作用一样。;3.压敏电阻地分类 利用压阻效应制成地电阻称为固态压敏电阻,也叫力敏电阻。用压敏电阻制成地器件有两类：一种是利用半导体材料制成粘贴式地应变片;另一种是在半导体地基片上用集成电路地工艺制成扩散性压敏电阻,用它作为传感器元件制成地传感器,称为固态压阻传感器,也叫扩散型压阻式传感器。;二,压阻式传感器基本结构与工作原理;2．测量电路 半导体应变电桥地非线性误差很大,故半导体应变电桥除了提高桥臂比,采用差动电桥等措施外,一般还采用恒流源; 电桥地输出电压与电阻变化成正比,与恒流源电流成正比,但与温度无关,因此测量不受温度地影响。 若用恒压源给电桥供电时 因此恒压源供电不能消除温度影响。;（二）扩散型压阻式压力传感器;硅杯在高温下用玻璃粘接剂粘贴在热胀冷缩系数相近地玻璃基板上。将硅杯与玻璃基板紧密地安装到壳体中,就制成了压阻式压力传感器;2022/4/5;2022/4/5;2022/4/5;2022/4/5;2022/4/5;测量电路 在圆形硅膜片（N型）一定区域内扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,当存在压差时, 膜片产生变形, 使两对电阻地阻值发生变化, 电桥失去平衡, 其输出电压反映膜片承受地压差地大小。;3．压阻式压力传感器地特点 压阻???压力传感器地主要优点有体积小,结构简单,动态响应好,灵敏度高,固有频率高,工作可靠,测量范围宽,重复性好等,能测出十几帕斯卡地微压, 它是一种比较理想,目前发展与应用较为迅速地一种压力传感器,特别适合在中,低温度条件下地中,低压测量。其主要缺点是测量准确度受到非线性与温度地影响。但智能压阻式压力传感器可利用微处理器对非线性与温度进行补偿。;项目实施;二,实训内容; （2）实验模块接入模块电源±15V,检查无误后,合上电源开关。;（3）先松开流量计下端进气口调气阀地旋钮,开通流量计。 （4）合上面板气源开关,启动压缩泵 （5）逐步关小流量计旋钮,使标准压力表指示某一刻度。 （6）仔细地逐步由小到大调节流量计旋钮,使在5~20KP之间每上升1KP分别读取压力表读数 (7) 数据处理;项目拓展;2. 压阻式液位变送器 压阻式液位变送器是在液位传感器地基础上把与液位深度成正比地液体静压力测量出来,并通过放大电路转换成标准电流电压信号输出,建立起输出电信号与液位深度地线性对比关系,实现对液体深度地测量,;液位测量 压阻式压力传感器安装在不锈钢壳体内,并由不锈钢支架固定放置于液体底部。 这种投入式液位传感器安装方便,适用于几米到几十米混有大量污物,杂质地水或其它液体地液位测量。 ;2022/4/5;2022/4/5;二,压阻式传感器应用前景 压阻式传感器广泛地应用于航天,航空,航海,石油化工,动力机械,生物医学工程,气象,地质,地震测量等各个领域。;休息一下！