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Varian 离子注入机 EHP220 设备规格 概要 本 E220 中束流离子注入机使用离子源，通过磁分析器、平行束透镜、加速系统等系统来完成注入。B+束流达 0.9mA，P+束流达 1.6mA，As+束流达 1.2mA。 系统组成 E220 中束流离子注入机主要由以下几个主要系统组成： 2-1）、束线系统； 2-2）、靶室系统； 2-3）、电源系统； 2-4）、辅助系统； 2-5）、控制系统； 性能指标 3-1）、离子能量：10-200keV （+） 3-2）、束流 能量到靶束流（uA） 能量 到靶束流（uA） KeV P+ As+ B+ 200 1600 1200 900 100 1600 1100 900 40 1300 900 800 15 450 300 560 10 100 120 150 3-3）、工作效率 机械传送效率≥160 片/小时(10scans)。 3-4）、注入均匀性及重复性注入剂量均匀性：1σ≤0.5% 注入剂量重复性：1σ≤0.5% 3-5）、质量分析能力M/△M≥85（≥100KV） 3-6）、颗粒污染测试 颗粒污染控制 ＜0.1/cm2@0.2μm。 3-7）、圆片注入倾斜角度 圆片注入倾斜角度：0～60° 3-8）、靶注片方式 靶注片方式：单圆片注入圆片直径：200mm 3-9）、系统真空度 静态离子源真空度： 3.00E-6 Torr 静态束线真空度： 4.00E-6 Torr 静态靶室真空度： 5.00E-6 Torr 3-10）、辐射剂量 辐射剂量：≤2usv／h 场务安装 4-1）、安装条件 电源：45KVA ， 208V，3 相，5 线，50/60Hz 冷却水：入口 2.8Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max), 0.63L/S 21℃(max) 干氮：1.4Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max) 0.47L/S(normal) - 4.7L/S(max) 压缩空气：7Kg/cm2(mix) -10.5 Kg/cm2(max) 2.35L/S（mix） 通风：70.5L/S 、压力-500Pa（气箱排气） 2.58L/S（终端排气） 2.58L/S（靶室排气） 散热：10 kwh（空气） 32.5 kwh（水） 尺寸： 498cm×310cm×244cm 重量： 11000Kg 4-2）、废气排放 设备废气排放图详见附件图 1 4-3）、重心分布 设备重心分布图详见附件图 2 附属品 5-1）、工具 维护保养设备所需工具：1 套/台5-2）、离子源 离子源：1 套/台 性能指标验收整机指标测试 序号 技术指标 测量条件与方法 测量仪器 测量结果 备注 1 离子能量: 10keV～200keV（单电荷） 见 6-1 0.5 级静电 高压计（300KV） 2 能量精度：±1%。 见 6-1 同上 3 注入元素：B+、P+、As+ （束流强度：P+≥1.5mA） 见 6-2 7 靶注片方式：单圆片注入 8 圆片直径： 200mm 直尺 9 注入剂量均匀性：≤ 0.5% 见 6-3 M-280 四探针系统 10 注入剂量重复性：≤ 0.5% 见 6-4 同上 11 生产效率：160 片/小时 见 6-5 12 辐射剂量：2usv／h 见 6-6 13 离子源寿命：≥80 小时 见 6-7 统计数据 14 损片率：≤1/20000 统计数据 15 束流：B+≤900uA；P+≤1600uA 见 6-7 As+≤1200uA 测试： 验收： 日期： 日期： 6-1）、离子能量与能量精度测量 离子能量是引出电压与加速电压之和，测量时以测量仪器上显示的能量读数为准。测量方法： 通过引出单电荷，离子能量为： 10keV～200keV（单电荷） 采用高压计检测设备实际离子能量，实际离子能量与设备显示离子能量进行对比，得出其误差，计算后获得能量精度。 1）最高能量检测： 能量为 200KeV，引出的P+束流大小应在 60 μA 下进行试验，稳定工作 0.2 小时，束流变化≤10%，试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准。 实际测量： 验收结果：离子最高能量满足指标≥ KeV 要求。 测试： 日期： 验收： 日期： 2）最低能量检测： 能量为 10keV，引出的 P+束流大小应在 200μA 下进行试验，稳定 0.2 小时，束流变化≤10%。实际测量： 验收结果：离子最低能量满足指标≤ KeV 要求。 测试： 日期： 验收： 日期： 3）能量精度检测： 200.00引出元素为P+时检测数据如下：（单位KeV） 200.00 设备显示能量值 高压计测量能量值 能量误差 5.00 70.00 100.00 180.00 计算方法：能量精度=（高压计测量值﹣设备