巡检线路图分析和总结.pdf

巡检线路图--设备部 四氯化硅罐 区送酸 精四氯化硅 （碱）泵， 储罐 送料泵 空压机房：吸附筒， 西罐区：制氮机，冷 油气分离器，吸附器 制氢：原料液计量 办公室 干机，喷淋塔泵，氮 除油器，空气（氮 泵，脱盐水计量泵， 气储罐，氮气（空 气）缓冲罐，空气压 变压吸附真空泵，甲 气）缓冲罐，吸附罐 缩机，空气干燥器，